一种多晶硅还原尾气的热量回收装置、回收系统
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一种多晶硅还原尾气的热量回收装置、回收系统

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本申请提供了一种多晶硅还原尾气的热量回收装置、回收系统,涉及多晶硅生产技术领域,多晶硅还原尾气的热量回收装置包括收集件、第一换热件、第二换热件与压缩件,所述第一换热件的第一接口与所述收集件连接,以使第一冷凝液输入所述收集件中,所述第二换热件连接所述第一换热件与所述收集件,以使第二冷凝液输入所述收集件中,所述收集件与所述第一换热件的第二接口连接,以使所述第一冷凝液与所述第二冷凝液输入所述第一换热件中,以能为所述第一换热件提供换热用的冷凝液,提高了换热资源的重复利用率,还原尾气输出端中的尾气通过所述第一换热件和/或所述第二换热件排出,以能对不同换热级别的尾气进行分流,提高了尾气的换热效率。

实用新型

CN202322137807.7

2023-08-09

CN220489763U

2024-02-13

F27D17/00(2006.01)

甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司

康斌;张明;李殿喜;何洪伦

736100 甘肃省酒泉市瓜州县北大桥现代高载能产业园

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司

王新哲

甘肃;62

1.一种多晶硅还原尾气的热量回收装置,其特征在于,包括: 收集件; 第一换热件,所述第一换热件的第一接口与所述收集件连接,以使所述第一换热件中的第一冷凝液输入所述收集件中; 第二换热件,所述第二换热件连接所述第一换热件与所述收集件,以使所述第二换热件中的第二冷凝液输入所述收集件中,所述收集件与所述第一换热件的第二接口连接,以使所述第一冷凝液与所述第二冷凝液输入所述第一换热件中; 压缩件,所述压缩件连接还原尾气输出端与所述第一换热件,以使所述还原尾气输出端中的尾气通过所述第一换热件和/或所述第二换热件排出。 2.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置,其特征在于,所述第一换热件与所述第二换热件之间设置有冷凝件,所述冷凝件连接所述第一换热件与所述第二换热件,以使所述冷凝件中的尾气通过所述第二换热件排出。 3.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置,其特征在于,所述第一换热件上设置有第三接口,所述第三接口位于所述第一换热件远离所述第二接口的一端,且所述第三接口与第一用气端连接,所述第三接口上设置有第一阀门。 4.根据权利要求3所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置,其特征在于,所述多晶硅还原尾气的热量回收装置还包括: 控制件,所述控制件与所述第一阀门连接,且所述控制件用于控制所述第一阀门的开度。 5.根据权利要求4所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置,其特征在于,所述第一用气端上设置有第一流量传感件,所述第一流量传感件与所述控制件连接。 6.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置,其特征在于,所述收集件与所述第二接口之间设置有输送件,所述输送件连接所述收集件与所述第二接口,以用于将所述第一冷凝液与所述第二冷凝液输入所述第一换热件中。 7.根据权利要求1-6中任意一项所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置,其特征在于,所述第二换热件与第二用气端连接,且所述第二用气端上设置有温度检测件。 8.根据权利要求1-6中任意一项所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置,其特征在于,所述压缩件与所述第一换热件之间设置有第一缓冲件,所述第一缓冲件连接所述压缩件与所述第一换热件。 9.根据权利要求1-6中任意一项所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置,其特征在于,所述还原尾气输出端与所述压缩件之间设置有第二缓冲件,所述第二缓冲件连接所述还原尾气输出端与所述压缩件。 10.一种多晶硅还原尾气的回收系统,其特征在于,包括权利要求1-9中任意一项所述的多晶硅还原尾气的热量回收装置。
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