一种大尺寸硅单晶生长坩埚
本实用新型公开了一种大尺寸硅单晶生长坩埚，包括坩埚外壳，所述坩埚外壳的外表面固定连接有环形支板，所述环形支板的底面固定安装有多个电动推杆，每个所述电动推杆的伸缩端共同固定连接有升降板，所述升降板的上表面固定连接有连接柱，所述连接柱的顶端固定连接有连接板，所述连接板的上表面固定安装有石墨坩埚，所述石墨坩埚的外表面固定连接有电加热器，所述电加热器的外表面固定连接有隔热罩，所述隔热罩的内圈与石墨坩埚的外表面固定连接，所述石墨坩埚的底面固定连接有多个连接杆；本装置，能够根据需要调节硅单晶生长时坩埚的高度，避免硅单晶生长高度出现局限性的问题，适用于大尺寸硅单晶的生长，提高硅单晶的生产质量。
实用新型
CN202322112267.7
2023-08-08
CN220489700U
2024-02-13
F27B14/10(2006.01)
扬州申威光电器材有限公司
陈志谋
225653 江苏省扬州市高邮市天山镇工业园区
金华市婺实专利代理事务所(普通合伙)
曹文
江苏;32
1.一种大尺寸硅单晶生长坩埚，其特征在于：包括坩埚外壳(1)，所述坩埚外壳(1)的外表面固定连接有环形支板(2)，所述环形支板(2)的底面固定安装有多个电动推杆(8)，每个所述电动推杆(8)的伸缩端共同固定连接有升降板(16)，所述升降板(16)的上表面固定连接有连接柱(3)，所述连接柱(3)的顶端固定连接有连接板(4)，所述连接板(4)的上表面固定安装有石墨坩埚(5)，所述石墨坩埚(5)的外表面固定连接有电加热器(6)，所述电加热器(6)的外表面固定连接有隔热罩(7)，所述隔热罩(7)的内圈与石墨坩埚(5)的外表面固定连接。 2.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅单晶生长坩埚，其特征在于：所述石墨坩埚(5)的底面固定连接有多个连接杆(17)，每个所述连接杆(17)的底端均与升降板(16)的上表面固定连接。 3.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅单晶生长坩埚，其特征在于：所述坩埚外壳(1)的外表面固定连接有连接罩(10)，所述连接罩(10)的顶端固定连接有导流罩(9)。 4.根据权利要求3所述的一种大尺寸硅单晶生长坩埚，其特征在于：所述导流罩(9)的外表面固定连接有内螺纹环(11)，所述导流罩(9)的上方设有密封盖(12)。 5.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅单晶生长坩埚，其特征在于：所述环形支板(2)的外表面固定连接有多个安装板(14)，每个所述安装板(14)的底面均开设有连接孔(15)。 6.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅单晶生长坩埚，其特征在于：所述电加热器(6)的底端固定连接有两个电极片(13)，所述隔热罩(7)的外表面与坩埚外壳(1)的内壁滑动连接。