一种MEMS传感器用光刻材料烘烤装置
本实用新型涉及MEMS传感器加工技术领域，具体为一种MEMS传感器用光刻材料烘烤装置，包括烘烤箱，隔板，其横向设置在所述烘烤箱内部并将烘烤箱内部分为上下两个腔室；抽拉机构，其设置在所述下腔室内，并可从所述烘烤箱的侧面拉出；加热板，其设置在所述下腔室内；升降机构，其设置所述上腔室内，所述升降机构的底部延伸至下腔室内与加热板连接。通过设置的升降机构带动加热板上下移动，进而使加热板更靠近晶圆，提高晶圆和光刻胶涂层的烘烤效率。
实用新型
CN202322072579.X
2023-08-03
CN220509279U
2024-02-20
G03F7/16(2006.01)
甘肃省科学院传感技术研究所
刘斌;王向谦;卢启海;李钰瑛;谢明玲;宋玉哲
730000 甘肃省兰州市定西南路229号
北京图亿天下专利代理有限公司
张静
甘肃;62
1.一种MEMS传感器用光刻材料烘烤装置，其特征在于：包括： 烘烤箱(1)，其作为载体，由刚性材料制作而成，且烘烤箱(1)内壁设有隔热层； 隔板(6)，其横向设置在所述烘烤箱(1)内部并将烘烤箱(1)内部分为上下两个腔室； 抽拉机构(4)，其设置在所述下腔室内，并可从所述烘烤箱(1)的侧面拉出； 加热板(7)，其设置在所述下腔室内； 升降机构(8)，其设置所述上腔室内，所述升降机构(8)的底部延伸至下腔室内与加热板(7)连接。 2.如权利要求1所述的一种MEMS传感器用光刻材料烘烤装置，其特征在于：所述升降机构(8)包括驱动电机(87)，所述驱动电机(87)与烘烤箱(1)固定连接，且驱动电机(87)的输出轴与丝杆(81)固定连接，所述丝杆(81)的另一端与烘烤箱(1)转动连接，且丝杆(81)的外表面对称设置有内螺纹块(86)，所述内螺纹块(86)的外部转动连接有拉杆(85)，所述拉杆(85)的另一端与推杆(84)滑动连接，且推杆(84)的底端滑动穿过隔板(6)并与加热板(7)固定连接。 3.如权利要求2所述的一种MEMS传感器用光刻材料烘烤装置，其特征在于：所述内螺纹块(86)的上端设置有滑块(82)，且烘烤箱(1)的上端内壁上设置有滑槽(83)，所述滑块(82)通过滑槽(83)与烘烤箱(1)滑动连接。 4.如权利要求2所述的一种MEMS传感器用光刻材料烘烤装置，其特征在于：所述丝杆(81)的外表面设置有两条螺旋方向相反的螺纹槽，所述内螺纹块(86)通过螺纹槽与丝杆(81)螺旋连接。 5.如权利要求1所述的一种MEMS传感器用光刻材料烘烤装置，其特征在于：所述烘烤箱(1)的外表面设置有观察窗(3)。 6.如权利要求1所述的一种MEMS传感器用光刻材料烘烤装置，其特征在于：所述烘烤箱(1)的底部四角位置处设置有支腿(5)，所述烘烤箱(1)的底部设置有加热组件(9)，所述加热组件(9)包括过滤板(91)，所述过滤板(91)设置在烘烤箱(1)的底壁上，且过滤板(91)上设置有加热壳体(93)，所述加热壳体(93)内设置有热风机(92)。 7.如权利要求1所述的一种MEMS传感器用光刻材料烘烤装置，其特征在于：所述抽拉机构(4)包括抽拉壳体(41)，所述抽拉壳体(41)的底部设置有梳齿架(43)，所述梳齿架(43)上设置有限位块(72)。