一种多温区连续退火炉
本实用新型公开一种多温区连续退火炉，包括有炉架、输送机构和炉本体，输送机构和炉本体分别安装在炉架上，输送机构穿过炉本体以将硅片送入炉本体加热后送出炉本体，炉本体包括有退火通道和加热模块，退火通道为方框形结构，加热模块贴合安装在退火通道上以实现对退火通道的加热。本实用新型的多温区连续退火炉，通道内部紧凑、内部空间更小的退火通道有助于降低退火能耗并提高退火效率，也有助于温区温度的调整，配合多温区的设计使得生产出来的硅基铁电薄膜具有较高的品质，有助于降低生产成本。
实用新型
CN202322043437.0
2023-08-01
CN220583072U
2024-03-12
F27B9/02(2006.01)
桂林电子科技大学
陈雪;林宁;零金江;孟相朋;李文杰
541004 广西壮族自治区桂林市七星区金鸡路1号
南宁东智知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
裴康明
广西;45
1.一种多温区连续退火炉，包括有炉架（10）、输送机构（20）和炉本体（30），所述输送机构（20）和炉本体（30）分别安装在所述炉架（10）上，所述输送机构（20）穿过所述炉本体（30）以将硅片送入所述炉本体（30）加热后送出所述炉本体（30），其特征在于：所述炉本体（30）包括有退火通道（31）和加热模块（32），所述退火通道（31）为方框形结构，所述加热模块（32）贴合安装在所述退火通道（31）上以实现对退火通道（31）的加热；所述退火通道（31）的两端端口处分别设置有管堵（34）以使得所述退火通道（31）的两端端口形成收口结构。 2.根据权利要求1所述的多温区连续退火炉，其特征在于：所述加热模块（32）为多组，多组所述加热模块（32）沿所述退火通道（31）的长度方向设置，且每组所述加热模块（32）之间在所述退火通道（31）的内侧和外侧对应位置处均设置有保温层（33）以在所述退火通道（31）内形成多个退火温区。 3.根据权利要求1所述的多温区连续退火炉，其特征在于：所述退火通道（31）为宽大于高的扁平方框形结构，所述退火通道（31）的长度方向与输送机构（20）的输送方向相一致。 4.根据权利要求1所述的多温区连续退火炉，其特征在于：所述炉本体（30）在所述退火通道（31）的两端分别设置有法兰（36）和法兰支架（37），所述法兰支架（37）固定安装在所述炉架（10）上，所述法兰（36）固定安装在所述法兰支架（37）上，所述管堵（34）固定安装在所述法兰（36）上。 5.根据权利要求1至4任一项所述的多温区连续退火炉，其特征在于：所述炉本体（30）还包括有内炉壳（38），所述内炉壳（38）包裹设置在所述退火通道（31）和加热模块（32）外围。 6.根据权利要求5所述的多温区连续退火炉，其特征在于：所述内炉壳（38）外围固定设置有外炉壳（39）。 7.根据权利要求2所述的多温区连续退火炉，其特征在于：所述退火通道（31）内的各个退火温区均设置有测温元件。 8.根据权利要求1所述的多温区连续退火炉，其特征在于：所述输送机构（20）包括有驱动电机（21）、驱动滚筒（22）、齿轮（23）、链条（24）、大托辊（25）、小托辊（26）和传送带（27）； 所述驱动电机（21）固定安装在所述炉架（10）上，所述驱动滚筒（22）、大托辊（25）和小托辊（26）转动安装在所述炉架（10）上，所述齿轮（23）为两个，分别固定安装在所述驱动电机（21）的输出轴以及所述驱动滚筒（22）的一端，所述链条（24）绕设在两个所述齿轮（23）上，所述大托辊（25）为两个，安装在所述输送机构（20）的两端，所述小托辊（26）至少为一个，安装在所述大托辊（25）的下方，所述传送带（27）绕设在所述驱动滚筒（22）、大托辊（25）和小托辊（26）上并穿过所述炉本体（30）。 9.根据权利要求8所述的多温区连续退火炉，其特征在于：所述输送机构（20）包括有张紧机构（28），所述张紧机构（28）包括有螺杆（281）、张紧辊（282）、连接件（283）、固定架（284）、弹性件（285）和滑动块（286）； 所述固定架（284）为两个，固定安装在所述炉架（10）上并位于所述传送带（27）两侧，所述固定架（284）开设有用以匹配螺杆（281）的螺孔，所述螺杆（281）螺纹安装在两个所述固定架（284）上；两个所述固定架（284）上分别开设有滑轨（287），所述滑轨（287）方向与所述螺杆（281）轴向一致，所述滑动块（286）滑动安装在所述滑轨（287）上；所述张紧辊（282）贴合所述传送带（27）用以张紧所述传送带（27），所述张紧辊（282）的两端分别与两个滑动块（286）转动连接；所述滑动块（286）上转动安装有连接件（283），所述连接件（283）通过所述弹性件（285）与所述螺杆（281）相连接。