一种光源提供装置

摘要：

本申请公开一种光源提供装置，包括支撑架、光源供给量控制组件和缓冲支撑组件，所述光源供给量控制组件包括顶板和光源移动挡板，所述顶板固定于所述支撑架的顶端，且所述顶板的中心设置有通光孔；所述光源移动挡板的一端通过移动驱动装置固定于所述支撑架内壁底面，所述光源移动挡板的另一端顶面设置有发光源；所述缓冲支撑组件设置于所述支撑架的内壁底部，所述缓冲支撑组件位于所述光源移动挡板的底端且且接触所述光源移动挡板的底面。通过缓冲支撑组件接触光源移动挡板的底面从而起到支撑光源移动挡板的作用，避免光源移动挡板弯曲，提高了光源稳定性，进而提高了光刻机的工作稳定性、光刻质量和生产效率。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN202322019430.5

申请日期：2023-07-28

公开/公告号：CN220340539U

公开/公告日：2024-01-12

主分类号：G03F7/20(2006.01)

申请/专利权人:粤芯半导体技术股份有限公司

发明/设计人:刘朔;胡淳铭

主申请人地址:510700 广东省广州市黄埔区凤凰五路28号

专利代理机构:深圳市嘉勤知识产权代理有限公司

代理人:王敏生

国别省市代码:广东;44

权利要求：

1.一种光源提供装置，其特征在于，包括支撑架、光源供给量控制组件和缓冲支撑组件，所述光源供给量控制组件包括顶板和光源移动挡板，所述顶板固定于所述支撑架的顶端，且所述顶板的中心设置有通光孔； 所述光源移动挡板的一端通过移动驱动装置固定于所述支撑架内壁底面，所述光源移动挡板的另一端顶面设置有发光源； 所述缓冲支撑组件设置于所述支撑架的内壁底部，所述缓冲支撑组件位于所述光源移动挡板的底端且接触支撑所述光源移动挡板的底面。 2.如权利要求1所述的光源提供装置，其特征在于，所述缓冲支撑组件包括若干滚动件，所述光源移动挡板的底面与部分所述滚动件接触。 3.如权利要求2所述的光源提供装置，其特征在于，所述支撑架的内壁底部设置有若干嵌孔，每个所述嵌孔内均活动嵌设一个所述滚动件。 4.如权利要求2所述的光源提供装置，其特征在于，所述滚动件包括设置于所述滚动件的外侧的传热部，所述光源移动挡板的底面与所述传热部接触。 5.如权利要求3所述的光源提供装置，其特征在于，所述嵌孔穿透所述支撑架的外壁底面。 6.如权利要求2所述的光源提供装置，其特征在于，所述支撑架的内壁底部设置有安装槽，所述缓冲支撑组件还包括安装板，所述安装板固定于所述安装槽内，所述滚动件活动嵌于所述安装板上。 7.如权利要求6所述的光源提供装置，其特征在于，所述安装板包括散热部，所述散热部与所述滚动件接触。 8.如权利要求7所述的光源提供装置，其特征在于，所述支撑架的内壁底部设置有若干散热孔，所述散热孔与所述安装槽连通。 9.如权利要求8所述的光源提供装置，其特征在于，所述散热孔与所述散热部连接。