一种新型的气体管道结构、高温退火设备
本实用新型涉及光伏和半导体领域，具体涉及一种新型的气体管道结构、高温退火设备。本实用新型提供了一种新型的气体管道结构，包括：保护罩，所述保护罩内安装有加热灯管；以及所述保护罩一端设置有进气接口；所述保护罩底部开设有若干排气孔。将工艺气体从原先直接通过管路将气体通入高温腔体内的方式，改为将气体通入保护罩内，以使工艺气体在保护罩内时，通过加热灯管进行预热，从而减少在高温腔室内开进气口，进而减少辅材的消耗。其次，工艺气体通过这种方式，在进气的同时能带走一部分加热灯管的热量，来延长加热灯管的使用寿命。
实用新型
CN202321994733.2
2023-07-27
CN220524668U
2024-02-23
F27D7/02(2006.01)
常州捷佳创精密机械有限公司
左国军;杜茂林;李晶晶;王锋;张凯;巩振江;尹丽英;赵俊
213000 江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号
常州市韬略专利代理事务所(普通合伙)
王元腾
江苏;32
1.一种新型的气体管道结构，其特征在于，包括： 保护罩（1），所述保护罩（1）内安装有加热灯管（2）；以及 所述保护罩（1）一端设置有进气接口（11）； 所述保护罩（1）底部开设有若干排气孔（14）；其中 所述保护罩（1）内适于通过进气接口（11）通入工艺气体，并通过排气孔（14）排出。 2.如权利要求1所述的气体管道结构，其特征在于， 所述排气孔（14）沿所述保护罩（1）的长度方向均匀开设。 3.如权利要求1所述的气体管道结构，其特征在于， 所述保护罩（1）远离所述进气接口（11）的一端设置有封闭件（3），所述封闭件（3）与所述保护罩（1）密封连接，且所述封闭件（3）与所述加热灯管（2）卡接。 4.如权利要求3所述的气体管道结构，其特征在于， 所述保护罩（1）外壁设置有螺纹套（12），所述封闭件（3）与所述螺纹套（12）螺纹连接。 5.如权利要求4所述的气体管道结构，其特征在于， 所述螺纹套（12）端部与所述封闭件（3）之间设置有密封圈（13）。 6.如权利要求3所述的气体管道结构，其特征在于， 所述封闭件（3）内部设置有密封垫（4），所述密封垫（4）与所述加热灯管（2）密封连接，且所述密封垫（4）设置在所述保护罩（1）端部。 7.一种高温退火设备，包括若干如权利要求1-6任一项所述的气体管道结构，其特征在于，还包括： 高温腔室（5），所述高温腔室（5）顶部开设有若干安装孔（51），一个保护罩（1）安装在一个安装孔（51）内。 8.如权利要求7所述的高温退火设备，其特征在于， 所述高温腔室（5）内阵列设置有若干传送辊（52）。