一种正压烧结冷却机构

摘要：

本实用新型公开了一种正压烧结冷却机构，包括炉体，所述炉体的内部设置有真空室，所述真空室的外侧上端贯穿设置有过渡腔，所述过渡腔的上端设置有气动高真空球阀，所述气动高真空球阀的上端贯穿设置有机组管路，所述机组管路的另一端设置有真空泵，且真空泵与机组管路的连接处设置有法兰，本实用新型在机组管路和过渡腔中间增加气动高真空球阀，工艺结束往真空腔内充正压前关闭气动高真空球阀，隔断机组管路与真空腔，可防止正压压力大破坏电离规和电阻规，可实现正压烧结、冷却同时能对电离规、电阻规起到保护作用。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN202321976121.0

申请日期：2023-07-26

公开/公告号：CN220524671U

公开/公告日：2024-02-23

主分类号：F27D9/00(2006.01)

申请/专利权人:青岛精诚华旗微电子设备有限公司

发明/设计人:姜洪斌;王浩

主申请人地址:266000 山东省青岛市城阳区流亭街道双元路西

国别省市代码:山东;37

权利要求：

1.一种正压烧结冷却机构，包括炉体(7)，其特征在于：所述炉体(7)的内部设置有真空室(6)，所述真空室(6)的外侧上端贯穿设置有过渡腔(5)，所述过渡腔(5)的上端设置有气动高真空球阀(4)，所述气动高真空球阀(4)的上端贯穿设置有机组管路(1)； 所述机组管路(1)的另一端设置有真空泵，且真空泵与机组管路(1)的连接处设置有法兰。 2.根据权利要求1所述的一种正压烧结冷却机构，其特征在于：所述机组管路(1)的中部设置有真空电阻规(2)，所述真空电阻规(2)的一侧设置有真空电离规(3)。 3.根据权利要求2所述的一种正压烧结冷却机构，其特征在于：所述气动高真空球阀(4)与过渡腔(5)的连接处同样设置有法兰，所述过渡腔(5)的上端一侧设置有充气口。 4.根据权利要求3所述的一种正压烧结冷却机构，其特征在于：所述充气口的下方一端对应设置有放气口。