一种多晶硅热量回收系统
本实用新型公开了一种多晶硅热量回收系统，属于多晶硅生产设备技术领域，包括籽晶料斗，所述籽晶料斗与流化床连接，所述籽晶料斗上设有环形盘管，流化床产生的高温混合气进入所述环形盘管中，用于加热所述籽晶料斗中的籽晶；所述籽晶料斗的出口端与第一换热器连接，所述第一换热器的出口端与第二换热器连接；所述第一换热器和第二换热器的出口端连接有废气回收装置，所述环形盘管中的气体依次通过第一换热器、第二换热器后进入所述废气回收装置中；所述第一换热器和第二换热器用于回收高温混合气的热量，能够使用流化床产生的高温混合气在籽晶加入流化床之前对籽晶进行加热，并将热量通过第一换热器和第二换热器进行热量回收，节约能耗。
实用新型
CN202321965679.9
2023-07-25
CN220418127U
2024-01-30
F27D17/00(2006.01)
江苏中能硅业科技发展有限公司
蒋立民;周舟;樊晓冬;苏芳芳;徐凯建
221004 江苏省徐州市经济技术开发区协鑫大道66号
南京纵横知识产权代理有限公司
钱玲玲
江苏;32
1.一种多晶硅热量回收系统，其特征在于，包括籽晶料斗（1），所述籽晶料斗（1）底部设有流化床（2），所述籽晶料斗（1）与流化床（2）连接，所述籽晶料斗（1）外侧设有环形盘管（3），所述流化床（2）产生的高温混合气进入所述环形盘管（3）中用于加热所述籽晶料斗（1）中的籽晶；所述籽晶料斗（1）的出口端与第一换热器（6）连接，所述第一换热器（6）的出口端与第二换热器（7）连接，所述第一换热器（6）和第二换热器（7）的出口端连接有废气回收装置，所述环形盘管（3）中的气体依次通过第一换热器（6）、第二换热器（7）后进入所述废气回收装置（12）中；所述第一换热器（6）和第二换热器（7）用于回收高温混合气的热量。 2.根据权利要求1所述的一种多晶硅热量回收系统，其特征在于，所述第一换热器（6）上连接有氢气输入管（10），所述流化床（2）上设有第一进气口（8），所述氢气输入管（10）、第一换热器（6）和流化床（2）的第一进气口（8）依次连通，所述氢气输入管（10）内的氢气与高温混合气换热后输入至流化床（2）的第一进气口（8）。 3.根据权利要求2所述的一种多晶硅热量回收系统，其特征在于，所述第二换热器（7）上连接有硅烷气输入管（11），所述流化床（2）上设有第二进气口（9）；所述硅烷气输入管（11）、第二换热器（7）和流化床（2）的第二进气口（9）依次连通，所述硅烷气输入管（11）内的硅烷气与高温混合气换热后输入至流化床（2）的第二进气口（9）。 4.根据权利要求1所述的一种多晶硅热量回收系统，其特征在于，所述环形盘管（3）的一侧连接有第一连接管（4），另一侧连接有第二连接管（5），所述流化床（2）的顶部与第一连接管（4）连接，所述流化床（2）产生的高温混合气通过第一连接管（4）进入所述环形盘管（3）中；所述环形盘管（3）的出口端通过第二连接管（5）与第一换热器（6）连接。 5.根据权利要求3所述的一种多晶硅热量回收系统，其特征在于，所述第一进气口（8）和第二进气口（9）设置于流化床（2）底部。 6.根据权利要求4所述的一种多晶硅热量回收系统，其特征在于，第一连接管（4）上设置有电磁阀，所述流化床（2）内设有温度传感器，所述温度传感器和电磁阀电性连接至控制器，当温度传感器检测高温混合气的气体温度为400-600℃时，所述控制器控制电磁阀开启。