一种带实时监控硅片烧结温度的传感装置的辊道炉
本实用新型提供了一种带实时监控硅片烧结温度的传感装置的辊道炉，包括：设置多个控温区的烘干区和烧结区及风冷区，硅片经由传动装置依次通过烘干区、烧结区及风冷区，每个控温区均包括上控温区和下控温区，每个上控温区和下控温区内对应地设置有至少三个电偶实时温度传感器，电偶实时温度传感器与硅片表面之间的距离不大于10mm。有益效果是本实用新型通过设置电偶实时温度传感器，可以有效监控烧结炉内不同区域近硅片表面的温度，实现对硅片烧结温度的实时在线监控，有助于监控烧结过程，及时发现问题，根据实验结果调整烧结方法。将电偶实时温度传感器置于硅片近表面，实现监控硅片表面温度的目的，提高了电池的性能，也提高了工艺开发的效率。
实用新型
CN202321733413.1
2023-07-04
CN220356058U
2024-01-16
F27B9/40(2006.01)
中科研和(宁波)科技有限公司
林娜;曾俞衡;黄如伟;廖明墩;叶继春;夏庆锋
315200 浙江省宁波市镇海区庄市街道西陆路288号萌恒大厦北楼7楼
宁波甬致专利代理有限公司
胡天人
浙江;33
1.一种带实时监控硅片烧结温度的传感装置的辊道炉，包括烘干区(1)、烧结区(2)及风冷区(3)，且所述烘干区(1)及所述烧结区(2)均包括多个控温区，硅片(13)经由传动装置依次通过所述烘干区(1)、所述烧结区(2)及所述风冷区(3)，其特征在于，每个所述控温区均包括对应于硅片(13)正面的上控温区(4)和对应于硅片(13)背面的下控温区(5)，每个控温区内的所述上控温区(4)和所述下控温区(5)内对应地设置有多个电偶实时温度传感器(6)，所述传动装置包括若干沿所述烘干区(1)及所述烧结区(2)长度方向间隔设置的辊轴(8)，所述控温区内的每两个相邻的所述辊轴(8)之间设置至少三个所述电偶实时温度传感器(6)，所述电偶实时温度传感器(6)与硅片(13)的上下表面之间的距离不大于10mm。 2.根据权利要求1所述的带实时监控硅片烧结温度的传感装置的辊道炉，其特征在于，所述电偶实时温度传感器(6)通过固定装置与所述控温区的内壁连接，所述固定装置包括固定杆(7)，所述上控温区(4)和所述下控温区(5)的内壁上均设置有固定杆(7)，且所述控温区内的每两个相邻的所述辊轴(8)之间设置所述电偶实时温度传感器(6)，所述固定杆(7)上连接有所述电偶实时温度传感器(6)。 3.根据权利要求2所述的带实时监控硅片烧结温度的传感装置的辊道炉，其特征在于，所述上控温区(4)和所述下控温区(5)的内壁上开设有供所述固定杆(7)插设的插孔，所述插孔的内周壁开设有限位孔，所述固定杆(7)的尾端设置有弹性限位件，当所述固定杆(7)插设于所述插孔内后，所述弹性限位件插设于所述限位孔内，以使所述固定杆(7)与所述上控温区(4)和所述下控温区(5)的内壁可拆卸地连接。 4.根据权利要求1所述的带实时监控硅片烧结温度的传感装置的辊道炉，其特征在于，所述传动装置还包括驱使所述辊轴(8)旋转的两根分别设置在传输通道两侧且呈相互平行设置的驱动杆(9)和用以驱使两根所述驱动杆(9)同步旋转的驱动源(10)，每一所述驱动杆(9)上均设有若干间隔排布的驱动轮(11)；所述辊轴(8)上设有与所述驱动轮(11)相啮合的从动轮(12)，所述驱动杆(9)旋转时，所述驱动轮(11)可驱使所述从动轮(12)及相应的辊轴(8)一并旋转。 5.根据权利要求4所述的带实时监控硅片烧结温度的传感装置的辊道炉，其特征在于，所述的辊轴(8)为实心辊轴或空心辊轴,所述辊轴(8)的形状为等径的圆柱状、圆锥台状或圆环状。 6.根据权利要求5所述的带实时监控硅片烧结温度的传感装置的辊道炉，其特征在于，所述辊轴(8)的材质为石英陶瓷、石英玻璃、氧化铝陶瓷、氮化硅陶瓷、不锈钢或铝合金。