一种ITO旋转靶材烧结防护装置

摘要：

本申请涉及一种ITO旋转靶材烧结防护装置，包括四个基座柱，四个基座柱呈矩形布置，相对的两个基座柱之间穿设有限位梁，相邻的两个限位梁上下交错布置，每个限位梁两端分别伸出基座柱且伸出的端部上设有限位杆，基座柱和限位梁均为空心结构。本申请能够在烧结时对超长ITO旋转靶材进行防护，防止超长ITO旋转靶材素坯在烧结过程倾倒。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN202321529279.3

申请日期：2023-06-15

公开/公告号：CN220322035U

公开/公告日：2024-01-09

主分类号：F27B21/08(2006.01)

申请/专利权人:洛阳晶联光电材料有限责任公司

发明/设计人:张启华;代立鑫;姚远

主申请人地址:471000 河南省洛阳市洛阳空港产业集聚区隆华大道66号(洛阳市孟津县麻屯镇)

专利代理机构:洛阳公信联创知识产权代理有限公司

代理人:李真真

国别省市代码:河南;41

权利要求：

1.一种ITO旋转靶材烧结防护装置，其特征在于，包括四个基座柱（1），四个基座柱（1）呈矩形布置，相对的两个基座柱（1）之间穿设有限位梁（2），相邻的两个限位梁（2）上下交错布置，每个限位梁（2）两端分别伸出基座柱（1）且伸出的端部上设有限位杆（3），基座柱（1）和限位梁（2）均为空心结构。 2.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶材烧结防护装置，其特征在于：所述基座柱（1）具有支撑部（101）、锥形连接部（102）和限位部（103），支撑部（101）、锥形连接部（102）和限位部（103）从上到下依次设置，限位部（103）上相邻的两个侧面分别设有贯穿限位部（103）的第一通孔（104）和第二通孔（105），第一通孔（104）和第二通孔（105）上下交错设置，限位梁（2）能够穿入第一通孔（104）或者第二通孔（105）。 3.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶材烧结防护装置，其特征在于：限位部（103）在支撑部（101）上的正投影落入支撑部（101）的区域内。 4.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶材烧结防护装置，其特征在于：所述基座柱（1）、限位梁（2）和限位杆（3）均由重结晶碳化硅材料制成。 5.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶材烧结防护装置，其特征在于：所述限位梁（2）上设有与限位杆（3）配合的第三通孔（201），所述第三通孔（201）为多个。 6.根据权利要求1所述的一种ITO旋转靶材烧结防护装置，其特征在于：所述限位杆（3）包括竖直部（302）和水平部（301），竖直部（302）插设在第三通孔（201）内。