一种新的立式炉主腔体进货出货区域进气排气系统

摘要：

本实用新型公开了一种新的立式炉主腔体进货出货区域进气排气系统，包括立式炉体、进气侧风门以及排风机构，立式炉体的一侧内壁固定连接有进气侧风门，立式炉体的另一侧内壁固定连接有排风机构，排风机构包括导流栅格板、排风动力风扇、排风流道以及排风口，导流栅格板与进气侧风门相对分布且与立式炉体内壁固定连接，导流栅格板的内壁固定连接有导风盒，导风盒的内部固定连接有排风动力风扇，导风盒与排风流道相连通，排风口固定连接在排风流道的末端。本实用新型通过在立式炉体的内部固定连接排风机构，方便配合进气侧风门对气体进行统一收集、排放，保证整个主腔体进货出货区域内部气体排放过程中可实现平流的目的，避免对晶圆生产造成影响。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN202321018646.3

申请日期：2023-04-30

公开/公告号：CN220321983U

公开/公告日：2024-01-09

主分类号：F27B1/10(2006.01)

申请/专利权人:上海至纯半导体设备有限公司

发明/设计人:宋大伟

主申请人地址:200000 上海市闵行区紫海路170号1幢304室

专利代理机构:上海老虎专利代理事务所(普通合伙)

代理人:葛瑛

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1.一种新的立式炉主腔体进货出货区域进气排气系统，包括立式炉体(1)、进气侧风门(2)以及排风机构(3)，其特征在于：所述立式炉体(1)的一侧内壁固定连接有进气侧风门(2)，所述立式炉体(1)的另一侧内壁固定连接有排风机构(3)，所述排风机构(3)包括导流栅格板(4)、排风动力风扇(5)、排风流道(6)以及排风口(7)，所述导流栅格板(4)与进气侧风门(2)相对分布且与立式炉体(1)内壁固定连接，所述导流栅格板(4)的内壁固定连接有导风盒(8)，所述导风盒(8)的内部固定连接有排风动力风扇(5)，所述导风盒(8)与排风流道(6)相连通，所述排风口(7)固定连接在排风流道(6)的末端。 2.根据权利要求1所述的一种新的立式炉主腔体进货出货区域进气排气系统，其特征在于：所述导风盒(8)由若干独立的分隔排气室(9)并排固定连接组成，所述导风盒(8)的出气口分别与排风流道(6)相连通。 3.根据权利要求1所述的一种新的立式炉主腔体进货出货区域进气排气系统，其特征在于：所述排风口(7)由多个排风管(10)组成，所述排风管(10)的端部分别固定连接有气动阀门(11)。 4.根据权利要求3所述的一种新的立式炉主腔体进货出货区域进气排气系统，其特征在于：所述排风流道(6)的内部设有多个分流道(12)，所述分流道(12)与排风管(10)对应分布且与排风管(10)相连通。 5.根据权利要求1所述的一种新的立式炉主腔体进货出货区域进气排气系统，其特征在于：所述导流栅格板(4)的表面固定连接有若干栅格叶片(13)。