一种新的工艺石英管
本实用新型公开了一种新的工艺石英管，包括装置本体，所述装置本体包括工艺石英管、热电偶层、加热器、晶圆和进气路径，所述工艺石英管位于装置本体底部，所述热电偶层安装在工艺石英管外侧，所述加热器安装在热电偶层外侧；所述进气路径安装在工艺石英管底部一侧，且进气路径另一端从工艺石英管另一侧引出，所述进气路径中段呈上下缠绕有两层。该种装置可以十分便捷的让气体在工艺石英管底部充分预热，然后再向上流动就不会影响工艺管内部的温度，工艺管内温度稳定了，生长的氧化膜厚度均匀性才会更好，从而实现改善氧化工艺厚度均匀性的目的，进一步使晶圆表面生长氧化膜的厚度均匀性，提高工艺石英管制备的成功率。
实用新型
CN202321018594.X
2023-04-30
CN220437147U
2024-02-02
F27D7/02(2006.01)
上海至纯半导体设备有限公司
余梦
200000 上海市闵行区紫海路170号1幢304室
上海老虎专利代理事务所(普通合伙)
葛瑛
上海;31
1.一种新的工艺石英管，其特征在于：包括装置本体(1)，所述装置本体(1)包括工艺石英管(2)、热电偶层(3)、加热器(4)、晶圆(5)和进气路径(6)，所述工艺石英管(2)位于装置本体(1)底部，所述热电偶层(3)安装在工艺石英管(2)外侧，所述加热器(4)安装在热电偶层(3)外侧； 所述进气路径(6)安装在工艺石英管(2)底部一侧，且进气路径(6)另一端从工艺石英管(2)另一侧引出，所述进气路径(6)中段呈上下缠绕有两层。 2.根据权利要求1所述的一种新的工艺石英管，其特征在于：所述热电偶层(3)由若干组热电偶层组成。 3.根据权利要求1所述的一种新的工艺石英管，其特征在于：所述晶圆(5)安装在工艺石英管(2)内部，所述晶圆(5)设有一百至一百五十片，且呈上下等距方式分布。