一体式热炉
本实用新型公开了一种一体式热炉，该一体式热炉包括机架、加热件和隔热件，加热件设在机架内，隔热件填充于机架与加热件的外侧壁之间，隔热件上设有沿加热件长度方向延伸设置的气流通道。气流通道具有气体进口，且与外部气源相连。该一体式热炉采用气冷的方式实现在快速降温阶段加热件的降温，有利于压缩半导体制造的工艺时间，提高生产效率，还能够使得一体式热炉的其他零部件减少由于自然散热长时高温产生的影响，延长其寿命。
实用新型
CN202320766293.9
2023-04-10
CN219776307U
2023-09-29
F27B5/14(2006.01)
拉普拉斯新能源科技股份有限公司
朱太荣;肖阳;万林;屈亚运;林佳继
518122 广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号
北京品源专利代理有限公司
潘登
广东;44
1.一体式热炉，其特征在于，包括： 机架(1)； 至少一个加热件(2)，所述加热件(2)设在所述机架(1)内； 隔热件(3)，所述隔热件(3)填充于所述机架(1)与所述加热件(2)的外侧壁之间，所述隔热件(3)上设有沿所述加热件(2)长度方向延伸设置的气流通道(31)，所述气流通道(31)具有气体进口，且与外部气源相连。 2.根据权利要求1所述的一体式热炉，其特征在于，所述气流通道(31)还具有气体出口。 3.根据权利要求2所述的一体式热炉，其特征在于，所述一体式热炉还包括封堵件(4)，所述封堵件(4)用于封堵所述气体出口。 4.根据权利要求3所述的一体式热炉，其特征在于，所述封堵件(4)包括封堵塞，所述封堵塞可拆卸地设于所述气体出口。 5.根据权利要求4所述的一体式热炉，其特征在于，所述封堵塞为锥形结构。 6.根据权利要求3所述的一体式热炉，其特征在于，所述封堵件(4)包括封堵板(41)和驱动件(42)，所述驱动件(42)设于所述机架(1)，所述封堵板(41)连接于所述驱动件(42)的驱动端，所述驱动件(42)用于驱动所述封堵板(41)封堵或者打开所述气体出口。 7.根据权利要求1-6中任一项所述的一体式热炉，其特征在于，所述机架(1)上设有环绕所述气体进口设置的进气管(6)，所述一体式热炉还包括控制阀(5)，所述控制阀(5)的进口与所述外部气源相连，所述控制阀(5)的出口与所述进气管(6)相连。 8.根据权利要求1-6中任一项所述的一体式热炉，其特征在于，所述气流通道(31)为多个，多个所述气流通道(31)沿所述加热件(2)的周向间隔分布。 9.根据权利要求1-6中任一项所述的一体式热炉，其特征在于，所述机架(1)包括框架(11)和两个封板(12)，所述框架(11)沿所述加热件(2)的长度方向的两端敞开设置，两个所以封板(12)连接于所述框架(11)的敞开端，所述封板(12)上设有与所述气体进口对应的第一连通口(121)。 10.根据权利要求1-6中任一项所述的一体式热炉，其特征在于，所述气流通道(31)为沿所述加热件(2)长度方向延伸设置的蛇形通道。