一种InAgGa合金靶材及其制备方法

摘要：

本发明公开了一种InAgGa合金靶材及其制备方法，属于靶材加工技术领域。该方法通过模具熔炼一体化成型法直接制备旋转靶材产品，该产品力学强度好，致密度高，纯度高，均匀度好，并且在制备过程中无需进行绑定，该产品可直接进行后续铜化以及硒化制备Ag掺杂的铜铟镓硒薄膜，实用性强。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN202311730882.2

申请日期：2023-12-15

公开/公告号：CN117644197A

公开/公告日：2024-03-05

主分类号：B22D19/08(2006.01)

申请/专利权人:先导薄膜材料(广东)有限公司

发明/设计人:余飞;黄宇彬;童培云

主申请人地址:511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区

专利代理机构:广州三环专利商标代理有限公司

代理人:宋静娜

国别省市代码:广东;44

权利要求：

1.一种InAgGa合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： (1)设置一模具，所述模具设有中空的内衬管和设置在内衬管外围的外模管，内衬管和外模管通过底座密闭连接，所述模具的内衬管和外模管间存在空腔，所述空腔底部连接一浇道； (2)将In料和Ga料熔化并混合形成InGa熔体，随后加热至200～240℃并加入Ag料继续混合，得到InAgGa熔体； (3)在模具的内衬管外侧面背铟，预热模具至170～200℃，随后保持温度并将InAgGa熔体通过浇道从底部浇注至模具中，待浇注完成后，自下而上向内衬管中注入冷却液使InAgGa熔体凝固，脱模，即得所述InAgGa合金靶材。 2.如权利要求1所述InAgGa合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，所述内衬管为不锈钢管，内径为124～126mm，外径为133～134mm；所述外模管为铸铁管，内径为165～170mm；所述浇道为不锈钢管道，内径为10～25mm。 3.如权利要求1所述InAgGa合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，In料的纯度为4N以上，Ga料的纯度为4N以上，Ag料的纯度为4N以上。 4.如权利要求1所述InAgGa合金靶材的制备方法，其特征在于，所述InAgGa熔体中，In的质量百分含量＞90wt％，Ag的质量百分含量＞5wt％。 5.如权利要求1所述InAgGa合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中，冷却液为水，所述水流量为3～5m3/h，所述InAgGa熔体凝固的降温凝固速率为30～50℃/min。 6.如权利要求1～5任一项所述InAgGa合金靶材的制备方法制备的InAgGa合金靶材。