一种晶圆退火装置
本发明涉及一种晶圆退火装置，包括：壳体，包括容纳腔和与容纳腔连通的炉口、通口，所述炉口用于供待加工产品进出容纳腔，所述通口用于供外界设备与容纳腔内连通；炉门，用于封闭/开启炉口；以及电热丝，分布于容纳腔内，所述电热丝靠近炉口和通口处的分布密度大于容纳腔内其他区域处的分布密度；通过在炉口与通口处设置相较密集的电热丝，能够有效补偿炉口和通口处的热量散失，进而让壳体内的温度能够保持在更为稳定的状态，从而降低晶圆废品率，通过设置上热丝和下热丝进行分开加热，可以上下温度独立控制，从而提高炉体内的温度的均匀性，进一步提高晶圆的退火质量。
发明专利
CN202311674391.0
2023-12-07
CN117419572A
2024-01-19
F27D11/02(2006.01)
湖南艾科威半导体装备有限公司
田杰成;徐有根
410000 湖南省长沙市望城经济技术开发区普瑞西路金荣望城科技产业园厂房一期第C5栋三层301号房
武汉维兴专利代理有限公司
胡壮
湖南;43
1.一种晶圆退火装置，其特征在于，包括： 壳体(1)，包括容纳腔(11)和与容纳腔(11)连通的炉口(12)、至少一个通口(13)，所述炉口(12)用于供待加工产品进出容纳腔(11)，所述通口(13)用于供外界设备与容纳腔(11)内连通； 炉门(2)，用于封闭/开启炉口(12)；以及 电热丝(3)，分布于容纳腔(11)内，所述电热丝(3)靠近炉口(12)和通口(13)处的分布密度大于容纳腔(11)内其他区域处的分布密度。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆退火装置，其特征在于，沿第一方向(x)，所述容纳腔(11)包括： 第一区域(11a)，以及 第二区域(11b)，所述第一区域(11a)位于第二区域(11b)上方侧； 所述电热丝(3)包括： 上热丝(31)，分布于第一区域(11a)内；以及 下热丝(32)，分布于第二区域(11b)内。 3.根据权利要求2所述的一种晶圆退火装置，其特征在于，沿第二方向(y)所述容纳腔(11)包括副温区(11c)和主温区(11d)，所述第二方向(y)和第一方向(x)基本垂直，所述炉门(2)和通口(13)位于副温区(11c)远离主温区(11d)的一侧。 4.根据权利要求3所述的一种晶圆退火装置，其特征在于，所述副温区(11c)的电热丝(3)的分布密度大于主温区(11d)的电热丝(3)的分布密度，和/或所述副温区(11c)的电热丝(3)的横截面积小于所述主温区(11d)的电热丝(3)的横截面积。 5.根据权利要求3或4所述的一种晶圆退火装置，其特征在于，沿第二方向(y)所述炉口(12)位于容纳腔(11)一侧，至少一个所述通口(13)位于容纳腔(11)的与所述炉口(12)相对的另一侧位置处；沿着第二方向(y)，所述容纳腔(11)内依次分布有副温区(11c)、主温区(11d)和副温区(11c)。 6.根据权利要求5所述的一种晶圆退火装置，其特征在于，所述副温区(11c)内设置有匀流件(4)，所述匀流件(4)包括至少一块匀流板(41)和位于匀流板(41)上的匀流孔(42)；当所述匀流板(41)为至少两块时，至少两块匀流板(41)沿第二方向(y)间隔分布。 7.根据权利要求1所述的一种晶圆退火装置，其特征在于，所述炉门(2)朝向容纳腔(11)内的一侧固定有隔热板(5)，所述隔热板(5)与炉门(2)之间具有隔热间隙(6)。 8.根据权利要求7所述的一种晶圆退火装置，其特征在于，所述隔热板(5)包括至少两片，至少两片所述隔热板(5)自炉门(2)侧向容纳腔(11)内侧方向间隔分布，相邻隔热板(5)之间、炉门(2)与隔热板(5)之间通过隔热连接件(7)连接。 9.根据权利要求1所述的一种晶圆退火装置，其特征在于，所述炉门(2)与壳体(1)之间设置有密封件(8)，所述壳体(1)位于密封件(8)侧设置有第一冷却流道(9)，所述炉门(2)内设置有第二冷却流道(10)。 10.根据权利要求2所述的一种晶圆退火装置，其特征在于，所述上热丝(31)包括绕制于第一区域(11a)内部的蛇形结构，所述下热丝(32)包括绕制于第一区域(11a)内部的蛇形结构。