一种光掩膜版翻转装置
一种光掩膜版翻转装置，本发明属于光掩膜版翻转技术领域，本发明通过光掩膜版升降模组、光掩膜版盛放台、支撑柱组件、旋转组件和夹紧组件相配合，在实现光掩膜版本体翻转的同时，实现了对光掩膜版本体的小接触面积的承托限位，承托限位稳定，同时降低了在承托限位和翻转光掩膜版本体时划伤光掩膜版本体的概率。
发明专利
CN202311660645.3
2023-12-06
CN117492320A
2024-02-02
G03F1/84(2012.01)
沈阳超夷微电子设备有限公司
陈桐;魏恩龙;谷德君;武欣宇
110000 辽宁省沈阳市浑南区上深沟村863-9号,D09号354室
北京仟方秉知识产权代理事务所(普通合伙)
刘伟
辽宁;21
1.一种光掩膜版翻转装置，其特征在于：包括主体定位板，所述主体定位板的底部安装有光掩膜版升降模组，所述光掩膜版升降模组的输出端上安装有连接架，所述连接架的顶部固定安装有水平放置的光掩膜版盛放台，所述光掩膜版盛放台的顶面固定安装有承托限位面积小的支撑柱组件，所述支撑柱组件上安装有光掩膜版本体，所述主体定位板上方固定安装有第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板上安装有用于翻转所述光掩膜版本体的旋转组件，所述第二支撑板上转动安装有夹紧组件，所述旋转组件的转动输出端和所述夹紧组件固定连接，所述夹紧组件和所述光掩膜版本体夹紧配合。 2.根据权利要求1所述的一种光掩膜版翻转装置，其特征在于：所述支撑柱组件包括两个承托限位支撑柱组和两个侧面限位柱组，两个所述承托限位支撑柱组和两个所述侧面限位柱组交错分布在所述光掩膜版本体的侧方。 3.根据权利要求2所述的一种光掩膜版翻转装置，其特征在于：每个所述承托限位支撑柱组包括不少于两个承托限位支撑柱，所述承托限位支撑柱包括底柱，所述底柱固定安装在所述光掩膜版盛放台上，所述底柱的上方安装有与其同轴的上柱，所述上柱的直径小于所述底柱的直径，所述上柱与所述光掩膜版本体的侧面相贴合，所述底柱和所述上柱之间过渡连接有承托斜面，所述上柱的上方安装有辅助光掩膜版定位的辅助锥体A。 4.根据权利要求3所述的一种光掩膜版翻转装置，其特征在于：每个所述侧面限位柱组包括不少于两个侧面限位柱，所述侧面限位柱固定安装在所述光掩膜版盛放台上，所述侧面限位柱与所述光掩膜版本体的侧面相贴合，所述侧面限位柱的上方安装有辅助光掩膜版定位的辅助锥体B。 5.根据权利要求4所述的一种光掩膜版翻转装置，其特征在于：所述光掩膜版盛放台上设有一个光掩膜版放置区、四个侧面限位区和四个角部夹持区，所述侧面限位区和所述角部夹持区交错分布在所述光掩膜版放置区的周围，所述承托限位支撑柱组和所述侧面限位柱组均安装在所述侧面限位区的内部。 6.根据权利要求1所述的一种光掩膜版翻转装置，其特征在于：所述夹紧组件包括气动双头夹爪，所述气动双头夹爪的两个输出端上固定安装有活动夹持所述光掩膜版本体的夹紧手臂，每个所述夹紧手臂上安装有两个夹紧块，所述夹紧块上设有角部定位槽，所述角部定位槽和所述光掩膜版本体的四角相配合。 7.根据权利要求6所述的一种光掩膜版翻转装置，其特征在于：所述旋转组件包括伺服电机，所述伺服电机固定安装在所述第一支撑板和所述第二支撑板上，所述第一支撑板上还固定安装有轴承座，所述轴承座的内部转动安装有旋转轴，所述旋转轴的一端和所述伺服电机的输出端通过同步带和同步带轮传动配合，另一端安装有定位块，所述定位块与所述气动双头夹爪固定连接。