一种步进式硅棒加热炉
本申请公开了一种步进式硅棒加热炉，其涉及热处理设备领域，包括炉体、定梁机构和动梁机构；炉体的炉腔壁部设置有耐火材料层，定梁机构包括定梁支座、定梁耐火层和定梁支撑块，定梁支座固定在炉体的底部，且中部设置有动梁槽，定梁耐火层设置在定梁支座上动梁槽的两侧，且与耐火材料层相连接，定梁支撑块位于炉腔内，且沿炉体长度方向间隔设置在定梁耐火层上，动梁机构包括步进驱动单元、动梁、动梁耐火层和动梁支撑块，步进驱动单元设置在炉体下方，动梁设置在动梁槽内，且与步进驱动单元相连接，动梁耐火层设置在动梁上，动梁支撑块位于炉腔内且间隔设置在动梁耐火层上与定梁支撑块相对设置，能够防止硅棒热处理时的金属元素污染。
发明专利
CN202311631022.3
2023-11-30
CN117647103A
2024-03-05
F27B9/20(2006.01)
南京年达炉业科技有限公司
陶玮;葛荣;丁少华
210046 江苏省南京市栖霞区龙潭街道上坝东南路19号
北京维正专利代理有限公司
苑新民
江苏;32
1.一种步进式硅棒加热炉，其特征在于：包括炉体（1）、定梁机构（2）和动梁机构（3）；所述炉体（1）的炉腔（11）壁部设置有耐火材料层（12），所述定梁机构（2）包括定梁支座（21）、定梁耐火层（22）和定梁支撑块（23），所述定梁支座（21）固定在所述炉体（1）的底部，且沿所述炉体（1）的长度方向上设置有动梁槽（211），所述定梁耐火层（22）设置在所述定梁支座（21）上所述动梁槽（211）的两侧，且与所述耐火材料层（12）相连接，所述定梁支撑块（23）上设置有定梁硅棒槽（231），所述定梁支撑块（23）位于所述炉腔（11）内，且沿所述炉体（1）的长度方向间隔设置在所述定梁耐火层（22）上，所述动梁机构（3）包括步进驱动单元（31）、动梁（32）、动梁耐火层（33）和动梁支撑块（34），所述步进驱动单元（31）设置在所述炉体（1）下方，所述动梁（32）设置在所述动梁槽（211）内，且与所述步进驱动单元（31）相连接，所述动梁耐火层（33）设置在所述动梁（32）上，所述动梁支撑块（34）上设置有动梁硅棒槽（341），所述动梁支撑块（34）位于所述炉腔（11）内且间隔设置在所述动梁耐火层（33）上，使得所述动梁硅棒槽（341）与所述定梁硅棒槽（231）在所述炉体（1）的宽度方向上对应，所述耐火材料层（12）、定梁耐火层（22）、定梁支撑块（23）、动梁耐火层（33）和动梁支撑块（34）均由低敏感金属含量材料制成。 2.根据权利要求1所述的步进式硅棒加热炉，其特征在于：所述耐火材料层（12）包括由外至内设置的纳米保温板层（121）、石棉层（122）和熔融石英砖层（123），所述炉腔（11）的壁部被所述熔融石英砖层（123）所覆盖。 3.根据权利要求2所述的步进式硅棒加热炉，其特征在于：所述定梁耐火层（22）包括定梁石棉（221）、定梁纳米保温板（222）和定梁石英砖（223），所述定梁石棉（221）设置在所述定梁支座（21）上，所述定梁纳米保温板（222）设置在所述定梁石棉（221）上，所述定梁石英砖（223）设置在所述定梁纳米保温板（222）上，且与所述熔融石英砖层（123）一体连接，所述定梁支撑块（23）嵌设在所述定梁石英砖（223）上。 4.根据权利要求3所述的步进式硅棒加热炉，其特征在于：所述动梁槽（211）设置在所述定梁支座（21）的中部，所述动梁槽（211）两侧所述定梁石英砖（223）的边缘形成为向上突起的石英支撑条（224），所述定梁支撑块（23）分别嵌设在所述动梁槽（211）两侧的所述石英支撑条（224）上的相对位置，且邻近的所述动梁槽（211）设置。 5.根据权利要求1所述的步进式硅棒加热炉，其特征在于：所述动梁耐火层（33）包括由外至内排列的石棉纤维板（331）、动梁石棉（332）、动梁纳米保温板（333）和动梁石英砖（334），所述石棉纤维板（331）与所述动梁（32）相连接，所述动梁支撑块（34）分别嵌设在所述动梁石英砖（334）的两侧。 6.根据权利要求1所述的步进式硅棒加热炉，其特征在于：还包括炉体支撑架（4），所述炉体支撑架（4）设置在安装基础上，所述炉体（1）和定梁支座（21）安装在所述炉体支撑架（4）上，所述步进驱动单元（31）设置在所述炉体支撑架（4）的内部。 7.根据权利要求1-6中任一项所述的步进式硅棒加热炉，其特征在于：所述动梁（32）包括动梁耐火座（321）和水冷梁体（322），所述动梁耐火座（321）与所述水冷梁体（322）的上侧面固定连接，所述动梁耐火层（33）设置在所述动梁耐火座（321）上，所述水冷梁体（322）内设置有水冷腔（3221），所述水冷梁体（322）上设置有与所述水冷腔（3221）相连通的进水管（3222）和出水管（3223），所述进水管（3222）开口于所述水冷腔（3221）的底部，所述出水管（3223）开口于所述水冷腔（3221）的顶部。 8.根据权利要求1-6中任一项所述的步进式硅棒加热炉，其特征在于：所述动梁机构（3）还包括水封槽（35）和水封板（36），所述水封槽（35）与所述步进驱动单元（31）固定连接，所述水封板（36）设置在所述动梁槽（211）的周边，且延伸至所述水封槽（35）内，所述动梁（32）通过动梁支撑柱（323）与所述水封槽（35）固定连接。 9.根据权利要求1-6中任一项所述的步进式硅棒加热炉，其特征在于：所述步进驱动单元（31）包括步进底板（311）、楔形块（312）、步进中间板（313）、中间板支撑轮（314）、中间板液压缸（315）、步进安装板（316）和安装板液压缸（317），所述步进底板（311）设置在安装基础上所述动梁槽（211）的下方，所述楔形块（312）间隔设置在所述步进底板（311）上，所述步进中间板（313）设置在所述步进底板（311）上，所述中间板支撑轮（314）设置在所述步进中间板（313）上，且分别位于所述楔形块（312）的楔形面上，所述中间板液压缸（315）设置在所述步进中间板（313）与所述步进底板（311）之间，所述步进安装板（316）设置在所述步进中间板（313）上，且能够在所述步进中间板（313）上沿所述炉体（1）的长度方向移动，安装板液压缸（317）设置在所述步进安装板（316）与所述步进底板（311）之间，所述动梁（32）安装在所述步进安装板（316）上。 10.根据权利要求1-6中任一项所述的步进式硅棒加热炉，其特征在于：所述定梁支撑块（23）和所述动梁支撑块（34）均由氮化硅材料制成。