一种KrF正型光刻胶

摘要：

本申请涉及光刻胶的技术领域，具体公开了一种KrF正型光刻胶。一种KrF正型光刻胶，所述光刻胶的原料包括如下重量份的组分：丙烯酸酯共聚树脂15~35份、酚醛丙烯酸酯复合树脂5~15份、偶联剂0.05~0.1份、光酸发生剂3~5份、有机碱0.01~0.05份、表面活性剂0.01~0.05份、溶剂40~60份；所述酚醛丙烯酸酯复合树脂的原料包括：丙烯酸单体、引发剂、乙醇、酚醛树脂。一种KrF正型光刻胶的制备方法，包括以下步骤：将丙烯酸酯共聚树脂、酚醛丙烯酸酯复合树脂、偶联剂、光酸发生剂、有机碱、表面活性剂、溶剂搅拌混合均匀，过滤，得到KrF正型光刻胶。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN202311626141.X

申请日期：2023-11-30

公开/公告号：CN117666285A

公开/公告日：2024-03-08

主分类号：G03F7/039(2006.01)

申请/专利权人:瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司

发明/设计人:徐亮;陈韦帆;郑祥飞;王振强

主申请人地址:215000 江苏省苏州市吴中区吴中经济开发区民丰路501号

专利代理机构:北京维正专利代理有限公司

代理人:曹蓉

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

1.一种KrF正型光刻胶，其特征在于：所述光刻胶的原料包括如下重量份的组分：丙烯酸酯共聚树脂15~35份、酚醛丙烯酸酯复合树脂5~15份、偶联剂0.05~0.1份、光酸发生剂3~5份、有机碱0.01~0.05份、表面活性剂0.01~0.05份、溶剂40~60份；所述酚醛丙烯酸酯复合树脂的原料包括：丙烯酸单体、引发剂、乙醇、酚醛树脂。 2.根据权利要求1所述的一种KrF正型光刻胶，其特征在于：所述酚醛丙烯酸酯复合树脂的制备方法包括以下步骤： 将酚醛树脂溶解在乙醇中，搅拌混合均匀，得到酚醛树脂溶液； 先将部分引发剂加入到部分乙酸乙酯中，混合均匀，得到引发剂溶液； 在氮气的保护下，将丙烯酸单体、剩下的引发剂、剩下的乙酸乙酯、酚醛树脂溶液混合均匀，然后在70-80℃下反应4-5h，再升温至80-90℃加入引发剂溶液反应1-2h，得到酚醛丙烯酸酯复合树脂。 3.根据权利要求2所述的一种KrF正型光刻胶，其特征在于：所述酚醛树脂与所述乙醇的重量比为1：（2~3）。 4.根据权利要求3所述的一种KrF正型光刻胶，其特征在于：所述丙烯酸单体、所述引发剂、所述酚醛树脂溶液的重量比为1：（0.005-0.01）：（0.2-0.4）。 5.根据权利要求4所述的一种KrF正型光刻胶，其特征在于：所述丙烯酸单体包括丙烯酸异辛酯、异丁烯酸甲酯、丙烯酸正丁酯组成的混合物。 6.根据权利要求1所述的一种KrF正型光刻胶，其特征在于：所述光酸发生剂包括二苯基碘鎓六氟磷酸盐、4,4'-二甲基二苯基碘鎓盐六氟磷酸盐、二(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟代丁烷磺酸盐中的一种或多种。 7.根据权利要求1所述的一种KrF正型光刻胶，其特征在于：所述有机碱包括有机胺。 8.根据权利要求1所述的一种KrF正型光刻胶，其特征在于：所述偶联剂包括γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷。 9.根据权利要求1所述的一种KrF正型光刻胶，其特征在于：所述溶剂包括丙二醇单醋酸酯、醋酸丁酯、双丙酮醇、丙二醇单乙醚中的一种或多种。 10.一种如权利要求1-9任意一项所述的KrF正型光刻胶的制备方法，其特征在于：包括以下步骤： 将丙烯酸酯共聚树脂、酚醛丙烯酸酯复合树脂、偶联剂、光酸发生剂、有机碱、表面活性剂、溶剂搅拌混合均匀，过滤，得到KrF正型光刻胶。