ECR离子源电阻炉
本发明涉及熔融炉技术领域，提供一种ECR离子源电阻炉，包括陶瓷坩埚，具有炉口，且所述陶瓷坩埚的内部装有难熔金属；加热线圈，位于所述陶瓷坩埚的外周，且所述加热线圈和所述陶瓷坩埚之间具有间隙；所述加热线圈用于形成电流回路为所述陶瓷坩埚加热。本发明提供的ECR离子源电阻炉，通过加热线圈位于陶瓷坩埚的外周并通入电流，加热线圈用于形成电流回路为陶瓷坩埚加热，以得到难熔金属蒸气，加热线圈的电阻相对钽坩埚较大，因此，采用本发明提供的ECR离子源电阻炉，大幅降低了电阻炉的运行电流，不仅减小了ECR离子源强磁场对电阻炉的影响，避免变形，提高电阻炉的使用寿命，而且还能够精简电源等附属设备。
发明专利
CN202311574242.7
2023-11-23
CN117588945A
2024-02-23
F27B14/06(2006.01)
中国科学院近代物理研究所
卢旺;张雪珍;冯玉成;钱程;孙良亭
730000 甘肃省兰州市城关区南昌路509号
北京路浩知识产权代理有限公司
霍秋红
甘肃;62
1.一种ECR离子源电阻炉，其特征在于，包括： 陶瓷坩埚(1)，具有炉口，且所述陶瓷坩埚(1)的内部装有难熔金属； 加热线圈(2)，位于所述陶瓷坩埚(1)的外周，且所述加热线圈(2)和所述陶瓷坩埚(1)之间具有间隙；所述加热线圈(2)用于形成电流回路为所述陶瓷坩埚(1)加热。 2.根据权利要求1所述的ECR离子源电阻炉，其特征在于，所述加热线圈(2)的两端分别设置有第一加长部(21)和第二加长部(22)，还包括： 第一金属支撑(3)； 第二金属支撑(4)，和所述第一金属支撑(3)均设置于所述陶瓷坩埚(1)的同一侧； 所述第一金属支撑(3)与所述第一加长部(21)连接，所述第二金属支撑(4)与所述第二加长部(22)连接，以形成所述电流回路。 3.根据权利要求2所述的ECR离子源电阻炉，其特征在于，还包括： 绝缘支撑(5)，设置于所述第一金属支撑(3)和所述第二金属支撑(4)之间，以防止所述电流回路短路。 4.根据权利要求2所述的ECR离子源电阻炉，其特征在于，所述第一金属支撑(3)和所述第二金属支撑(4)的内部均设置有冷却水路(6)。 5.根据权利要求2所述的ECR离子源电阻炉，其特征在于，还包括： 钽底座(7)，设置于所述陶瓷坩埚(1)的底部；且所述钽底座(7)一端与所述第二加长部(22)连接，另一端与所述第二金属支撑(4)连接。 6.根据权利要求5所述的ECR离子源电阻炉，其特征在于，还包括： 第一钽连接块(8)，设置于所述第二加长部(22)的端部顶部，且所述第一钽连接块(8)、所述第二加长部(22)和所述钽底座(7)通过第一紧固件(9)连接。 7.根据权利要求5所述的ECR离子源电阻炉，其特征在于，还包括第二钽连接块(10)，与所述第一加长部(21)的端部连接，且所述第二钽连接块(10)、所述第一加长部(21)和所述第一金属支撑(3)通过第二紧固件(16)连接。 8.根据权利要求1所述的ECR离子源电阻炉，其特征在于，所述炉口处连通有导向管(11)。 9.根据权利要求2所述的ECR离子源电阻炉，其特征在于，还包括热屏蔽装置(12)，所述热屏蔽装置(12)设置于所述陶瓷坩埚(1)的外侧，且所述第一加长部(21)和所述第二加长部(22)贯穿所述热屏蔽装置(12)，并延伸至所述热屏蔽装置(12)的外侧。 10.根据权利要求2所述的ECR离子源电阻炉，其特征在于，所述陶瓷坩埚(1)的顶部设置有坩埚盖(13)，且所述坩埚盖(13)的顶部设置有凸起结构(14)；所述陶瓷坩埚(1)的底部开设有凹槽(15)，所述凹槽(15)用于所述第二加长部(22)穿过。