一种晶圆烧结炉
本申请涉及半导体加工领域，提供了一种晶圆烧结炉，包括工作台，所述工作台的上表面固定连接有上侧外壳，所述上侧外壳的内部设置有升降机构，所述升降机构的下端固定连接有上侧箱体机构，所述上侧箱体机构的内部设置有上C型压块，所述上C型压块的下侧固定连接有上侧加热机构，所述工作台中部设置有下侧箱体机构，下侧箱体机构内设置有下C型压块，所述下C型压块的上表面固定有下侧加热机构，所述下C型压块下表面连接有压力计量机构。本发明特点是上加热模可以实现周向自动调平，使得待焊接工件受力均匀，提高了产品品质和产品良率；压力计量机构可以精准计量晶圆受力，数据反馈到控制系统精确控制升降机构施加于晶圆的压力。
发明专利
CN202311517173.6
2023-11-14
CN117329832A
2024-01-02
F27B5/14(2006.01)
四川景恒科技有限公司
冉锐
637262 四川省南充市西充区多扶工业园区
安徽靖天专利代理事务所(普通合伙)
杨宝洞
四川;51
1.一种晶圆烧结炉，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)的上表面固定连接有上侧外壳(2)，所述上侧外壳(2)的前侧固定连接有触摸屏(3)，所述上侧外壳(2)的内部设置有上侧横梁(4)，所述上侧横梁(4)的中部上表面固定连接有升降机构(5)，所述升降机构(5)的下端固定连接有上侧烧结箱体机构(6)，所述上侧烧结箱体机构(6)的内部设置有上侧压块机构(7)，所述上侧压块机构(7)的下侧固定连接有上侧加热机构(8)，所述上侧横梁(4)的左右两侧下表面固定连接有安全机构(9)，所述安全机构(9)的下端固定连接工作台(1)的中部上表面，所述上侧横梁(4)的左右两侧上表面固定连接有箱门机构(10)，所述工作台(1)的中下部固定连接有下侧烧结箱体机构(11)，所述下侧烧结箱体机构(11)的内部设置有下侧加热机构(12)，所述下侧烧结箱体机构(11)的下侧固定连接有压力计量机构(13)，所述工作台(1)的下侧固定连接有下侧外壳(14)，所述下侧外壳(14)的左侧上部固定连接有控制组件(15)，所述下侧外壳(14)的内部左侧固定连接有冷却组件(16)，所述下侧外壳(14)的内部下表面固定连接有真空组件(17)，所述下侧外壳(14)的内部右侧下表面固定连接有压缩空气控制组件(18)，所述下侧外壳(14)的下表面固定连接有万向轮(19)，所述控制组件(15)与触摸屏(3)、冷却组件(16)、真空组件(17)、压缩空气控制组件(18)有电性连接。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆烧结炉，其特征在于，所述升降机构(5)包括升降气缸(501)、气缸伸缩杆(502)，所述升降气缸(501)的下侧固定连接上侧横梁(4)的中部上表面，所述气缸伸缩杆(502)的外表面滑动连接在升降气缸(501)的内部，所述气缸伸缩杆(502)的下端贯穿上侧横梁(4)的中部并螺纹连接有上连接块(503)，所述上连接块(503)的外表面滑动连接有上连接导套(504)，所述升降气缸(501)的左右两侧均设置有固定连接在上侧横梁(4)上的升降导杆(505)，所述升降导杆(505)的下端均与上侧烧结箱体机构(6)的中部固定连接，所述升降导杆(505)的外表面均滑动连接有升降滑块(506)。 3.根据权利要求1所述的一种晶圆烧结炉，其特征在于，所述上侧烧结箱体机构(6)包括上烧结箱体(601)、上热屏蔽层(602)，所述上烧结箱体(601)的上端与上连接导套(504)的下侧固定连接，所述上热屏蔽层(602)的外表面固定连接在上烧结箱体(601)的内部下侧，所述上烧结箱体(601)的左侧上表面固定连接有测温组件(603)，所述上烧结箱体(601)的中部滑动连接有球头压杆(605)，所述球头压杆(605)的上侧外表面设置有上焊接波纹管(606)，所述球头压杆(605)的上端螺纹连接有压杆顶块(604)，所述压杆顶块(604)的上侧与上连接块(503)的下侧固定连接。 4.根据权利要求1所述的一种晶圆烧结炉，其特征在于，所述上侧压块机构(7)包括上压杆连接块(701)、压块固定板(702)，所述上压杆连接块(701)的上侧滑动连接球头压杆(605)的下端，所述上压杆连接块(701)的外侧固定连接有压块固定板(702)，所述压块固定板(702)的下侧固定连接有上C型压块(703)，所述上C型压块(703)的内部上侧滑动连接有一组上滑动导杆(704)，所述上滑动导杆(704)的上端均与上烧结箱体(601)的内部上侧固定连接。 5.根据权利要求1所述的一种晶圆烧结炉，其特征在于，所述上侧加热机构(8)包括上反射屏(801)、上加热模(802)、上加热管(803)、反射屏支撑杆(804)，所述上反射屏(801)的上侧固定连接在反射屏支撑杆(804)的下端，所述反射屏支撑杆(804)的上端均固定连接在上烧结箱体(601)的内部上侧，所述上加热模(802)固定连接在上C型压块(703)的下侧，所述上加热管(803)固定连接在上烧结箱体(601)的前后两侧，所述上加热管(803)与控制组件(15)有电性连接。 6.根据权利要求1所述的一种晶圆烧结炉，其特征在于，所述安全机构(9)包括固定块(901)、安全气缸(902)、连杆(903)，所述固定块(901)的下端固定连接在工作台(1)的上表面，所述固定块(901)的相邻侧中部均固定连接有安全气缸(902)，所述安全气缸(902)的相邻侧均固定连接有连杆(903)，所述连杆(903)的相邻侧均与升降滑块(506)的前后相远侧在锁定时保持相对位置。 7.根据权利要求1所述的一种晶圆烧结炉，其特征在于，所述箱门机构(10)包括横杆支撑块(1001)、导轮横杆(1002)，所述横杆支撑块(1001)的下侧均固定连接在上侧横梁(4)的上表面，所述横杆支撑块(1001)的上侧均固定连接有导轮横杆(1002)，所述导轮横杆(1002)的前后两端均固定连接有定滑轮(1003)，所述定滑轮(1003)的外表面均设置有连接索(1006)，所述连接索(1006)的前端均与前侧箱门(1005)的上端固定连接，所述前侧箱门(1005)的左右两侧外表面均滑动连接有箱门导轨(1004)，所述箱门导轨(1004)的前侧均与上侧外壳(2)的内部前侧固定连接，所述连接索(1006)的后端连接有收卷组件(1007)，所述收卷组件(1007)的下侧固定连接工作台(1)的后侧上表面，所述收卷组件(1007)与控制组件(15)有电性连接。 8.根据权利要求1所述的一种晶圆烧结炉，其特征在于，所述下侧烧结箱体机构(11)包括下烧结箱体(1101)、下热屏蔽层(1102)，所述下烧结箱体(1101)的上法兰底面与工作台(1)的中部上表面固定连接，所述下热屏蔽层(1102)的外表面与下烧结箱体(1101)的内表面固定连接，所述下烧结箱体(1101)的内部下侧固定连接有一组下滑动导杆(1103)，所述下滑动导杆(1103)的外表面滑动连接有下C型压块(1104)。 9.根据权利要求1所述的一种晶圆烧结炉，其特征在于，所述下侧加热机构(12)包括下反射屏(1201)、下加热模(1202)、下加热管(1203)，所述下反射屏(1201)的下侧固定连接有多组反射屏支撑杆(804)，所述连接下反射屏(1201)的反射屏支撑杆(804)下端均固定连接在下烧结箱体(1101)的内部上表面，所述下加热模(1202)固定连接在下C型压块(1104)的上侧，所述下加热管(1203)的前后两端均与下烧结箱体(1101)前后两侧固定连接，所述下加热模(1202)的上表面设置有烧结工装(1204)，所述下加热管(1203)与控制组件(15)有电性连接。 10.根据权利要求1所述的一种晶圆烧结炉，其特征在于，所述压力计量机构(13)包括压力计量杆导套(1301)、压力计量模块(1302)，所述压力计量杆导套(1301)的上侧固定连接在下烧结箱体(1101)的下侧，所述压力计量杆导套(1301)的下端固定连接压力计量模块(1302)的上侧，所述压力计量杆导套(1301)的内表面滑动连接有压力计量球头杆(1303)，所述压力计量球头杆(1303)的上侧外表面设置有下焊接波纹管(1304)，所述压力计量球头杆(1303)的上端固定连接有下压杆连接块(1305)，所述下压杆连接块(1305)的上端固定连接下C型压块(1104)的下表面，所述压力计量模块(1302)与控制组件(15)有电性连接。