一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置

摘要：

本发明涉及气浮结构制造技术领域，具体涉及一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置。气浮机构用于承载水平工作台，卸荷装置给水平工作台提供支撑力以卸荷，所述卸荷装置对称设于水平工作台的两端，卸荷装置包括水平固定在曝光机支架上的支撑梁和滑动连接在支撑梁上的安装盒，安装盒内形成有竖向弹性空间，水平工作台与安装盒的上表面连接。安装盒分别在两侧持续给水平工作台提供一个支撑力，使水平工作台作用在气浮板上的载荷减小，达到卸荷效果，故气浮板和气浮轴之间的气膜厚度增加、承载能力提升。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN202311486418.3

申请日期：2023-11-09

公开/公告号：CN117406561A

公开/公告日：2024-01-16

主分类号：G03F7/20(2006.01)

申请/专利权人:杭州欣俊哲微纳科技有限公司

发明/设计人:廖平强;张继钊;赵豪杰;汪益立

主申请人地址:311200 浙江省杭州市萧山区杭州空港经济区保税路西侧保税大厦165-4室

专利代理机构:浙江金杜智源知识产权代理有限公司

代理人:蒋力

国别省市代码:浙江;33

权利要求：

1.一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，气浮机构用于承载水平工作台，卸荷装置给水平工作台提供支撑力以卸荷，其特征在于，所述卸荷装置对称设于水平工作台的两端，卸荷装置包括水平固定在曝光机支架上的支撑梁（1）和滑动连接在支撑梁上的安装盒（2），安装盒内形成有竖向弹性空间（3），水平工作台与安装盒（2）的上表面连接。 2.根据权利要求1所述的一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述安装盒（2）包括上弹性座（2-1）、下弹性座（2-2），所述竖向弹性空间（3）设于上弹性座（2-1）、下弹性座（2-2）之间。 3.根据权利要求2所述的一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述竖向弹性空间（3）包括均匀分布的沉孔（3-1），沉孔内均设有矩形弹簧（2-3）。 4.根据权利要求2所述的一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述上弹性座（2-1）、下弹性座（2-2）之间还连接有预压螺钉（2-4）。 5.根据权利要求2所述的一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述下弹性座（2-2）的底部设有轴承滚轮（2-5），所述支撑梁（1）的上表面设有支撑滚道（1-1），所述安装盒（2）通过轴承滚轮（2-5）滑动连接在支撑滚道（1-1）上。 6.根据权利要求5所述的一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述安装盒（2）与水平工作台之间连接有弯折板（4），弯折板的一端固定在上弹性座（2-1）的上表面，另一端与水平工作台连接。 7.根据权利要求6所述的一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述弯折板（4）与上弹性座（2-1）连接的一端与所述支撑滚道（1-1）保持平行。 8.根据权利要求1所述的一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述曝光机支架上设有支撑立柱（5），所述支撑梁（1）的两端架设在支撑立柱（5）的上表面。 9.根据权利要求8所述的一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述支撑梁（1）与支撑立柱（5）之间还设有调节垫片（5-1），通过调节垫片调节支撑梁（1）使支撑梁上表面与气浮机构上表面保持平行。 10.根据权利要求8所述的一种PCB曝光机气浮机构的卸荷装置，其特征在于，所述支撑立柱（5）上还横向连接有用于防止卸荷装置下沉的保护销（6）。