一种ITO靶材均匀加热的烧结炉
本发明公开了一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，烧结箱的顶部设有密封顶盖，密封顶盖固定连接有密封侧板，烧结箱安装有第一推杆，第一推杆安装有连接块，连接块与密封顶盖固定连接，烧结箱安装有支撑侧台，支撑侧台上滑动设有支撑箱，密封顶盖的下表面中部安装有安装板，安装板下表面安装有加热竖管，安装板安装有支撑竖架，支撑竖架上安装有加热环管，烧结箱的底部中心处安装有隔热箱，隔热箱内安装有第二推杆，第二推杆安装有驱动电机，驱动电机固定连接有花键轴，对烧结箱内的气流进行导流，使得烧结箱内的热量随着气流的不断流动而均匀分布，既确保了烧结效率的极大提升，又确保了烧结效果的均匀度，保质保量地烧结ITO靶材。
发明专利
CN202311480792.2
2023-11-08
CN117367139A
2024-01-09
F27D5/00(2006.01)
先导薄膜材料(安徽)有限公司
高建成;张廷;张莉兰;徐涛;钟小华
230012 安徽省合肥市新站区龙子湖路658号
合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙)
王婷婷
安徽;34
1.一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，包括烧结箱(1)，所述烧结箱(1)的顶部设有密封顶盖(2)，密封顶盖(2)下表面的前后两侧均密封固定连接有密封侧板(3)，所述烧结箱(1)的左右两侧均安装有第一推杆(12)，第一推杆(12)的伸缩端安装有连接块(14)，连接块(14)与密封顶盖(2)固定连接，所述烧结箱(1)底部的前后两侧均安装有支撑侧台(4)，支撑侧台(4)上滑动设有支撑箱(5)，所述密封顶盖(2)的下表面中部安装有安装板(17)，安装板(17)下表面安装有若干个呈等角度均匀分布的加热竖管(18)，安装板(17)下且位于每个加热竖管(18)周围分别安装有支撑竖架(19)，支撑竖架(19)上安装有呈等距均匀分布的加热环管(20)，所述烧结箱(1)的底部中心处安装有隔热箱(21)，隔热箱(21)内安装有第二推杆(22)，第二推杆(22)的伸缩端安装有驱动电机(23)，驱动电机(23)的驱动轴上端固定连接有花键轴(24)。 2.根据权利要求1所述的一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述密封顶盖(2)和烧结箱(1)密封抵接，所述密封侧板(3)和烧结箱(1)密封抵接，所述支撑箱(5)上表面中部贯穿嵌设有支撑嵌板(6)，支撑嵌板(6)上表面中部贯穿嵌设有若干个呈等角度均匀分布的旋转盒(7)，旋转盒(7)上表面中部贯穿嵌设有支撑网板(8)，所述旋转盒(7)与加热竖管(18)一一对应，所述烧结箱(1)的底部中心处以及支撑箱(5)的底部中心处均安装有花键套，烧结箱(1)和支撑箱(5)均与所安装的花键套密封转动连接，花键轴(24)与花键套密封滑动连接。 3.根据权利要求1所述的一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述支撑侧台(4)的中部嵌设有推料滑台(9)，推料滑台(9)的滑块上安装有推杆架(10)，推杆架(10)靠近烧结箱(1)的一端安装有卡接架(11)，所述支撑箱(5)的前后两端均开设有配合卡接架(11)对接的卡接槽。 4.根据权利要求1所述的一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述支撑侧台(4)的上表面与烧结箱(1)底部上表面的左右两侧均开设有限位滑槽(15)，所述支撑箱(5)的底部两侧边缘处均安装有限位嵌杆(16)，限位嵌杆(16)和限位滑槽(15)相互配合，所述烧结箱(1)的内侧底部上表面四角处均嵌设有弹簧卡珠(36)，支撑箱(5)的底部四角对应开设有珠形槽。 5.根据权利要求2所述的一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述旋转盒(7)的内侧中部安装有导风筒(25)，导风筒(25)的外周底部开设有若干个呈等角度均匀分布的导风槽(26)，旋转盒(7)内且位于导风筒(25)轴心处活动穿设有第一传动轴(27)，第一传动轴(27)与旋转盒(7)转动连接，第一传动轴(27)的上端与支撑网板(8)转动连接，第一传动轴(27)的上部外周安装有导风扇叶(28)，第一传动轴(27)的下端外周安装有第一齿轮(29)，所述旋转盒(7)的底部外周安装有传动齿环(35)。 6.根据权利要求1所述的一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述支撑箱(5)的内侧底部中心处安装有主动齿轮(30)，主动齿轮(30)通过推力轴承(37)与支撑箱(5)转动连接，主动齿轮(30)与各个第一齿轮(29)分别啮合传动，主动齿轮(30)的轴心处开设有配合花键轴(24)的花键槽(41)。 7.根据权利要求6所述的一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述支撑箱(5)的内侧底部中心处安装有主动齿轮(30)，主动齿轮(30)通过推力轴承(37)与支撑箱(5)转动连接，主动齿轮(30)与各个第一齿轮(29)分别啮合传动，主动齿轮(30)的轴心处开设有配合花键轴(24)的花键槽(41)。 8.根据权利要求7所述的一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述支撑箱(5)内且位于旋转盒(7)的外周一侧转动连接有第二传动轴(31)，各个第二传动轴(31)呈等角度均匀分布，第二传动轴(31)、第一传动轴(27)以及花键轴(24)共面并且平行，第二传动轴(31)和第一传动轴(27)一一对应。 9.根据权利要求8所述的一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述第二传动轴(31)的下端由下向上依次安装有第二齿轮(32)和第三齿轮(34)，所述支撑箱(5)内且位于第二齿轮(32)和第一齿轮(29)之间转动连接有传动齿轮(33)，第二齿轮(32)和第一齿轮(29)一一对应，第二齿轮(32)和第一齿轮(29)均分别与传动齿轮(33)啮合传动，第三齿轮(34)与传动齿环(35)啮合传动，支撑箱(5)的内侧壁上安装有定位块(40)，第二传动轴(31)的上端与定位块(40)转动连接。 10.根据权利要求2所述的一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，ITO靶材底部设有支撑垫板(38)，所述第一推杆(12)通过隔热板(13)安装在烧结箱(1)的侧面。