一种在线式自动厌氧炉
本发明公开了一种在线式自动厌氧炉，涉及半导体集成电路生产技术领域，包括：机架上设有烘烤箱，内部与保护气气源连通，烘烤箱两端设有可升降的密封门；传送机构，设置在机架上并贯穿烘烤箱，其上设有装有芯片的料盒；料盒输送机构，设置在传送机构的下方，用于输送空料盒；料盒提升机构，设置在机架的一端，用于将空料盒提升至传送机构的高度；芯片上料机构，设置在料盒提升机构的一侧，用于将芯片输送至料盒提升机构所提升的空料盒内；料盒转运机构，用于将装有芯片的料盒转运至传送机构上；控制系统，控制系统分别与各机构电连接。本发明实现流水线式运作，以此提高I C集成电路点银浆后芯片的固化效率，进而提高芯片的生产效率。
发明专利
CN202311439487.9
2023-11-01
CN117329836A
2024-01-02
F27B9/04(2006.01)
湖北心海工业智能设备有限公司
赵华卫;王志超
441400 湖北省襄阳市宜城经济开发区楚风大道888号
北京博海嘉知识产权代理事务所(普通合伙)
郝彦东
湖北;42
1.一种在线式自动厌氧炉，其特征在于，包括： 机架，所述机架上设置有烘烤箱，所述烘烤箱的内部与保护气气源连通，所述烘烤箱沿所述机架长度的两端均设置有可升降的密封门； 传送机构，所述传送机构设置在所述机架上，所述传送机构贯穿所述烘烤箱，所述传送机构上设置有装有芯片的料盒，所述传送机构用于将装有芯片的料盒输送至所述烘烤箱内进行烘烤，以及将经所述烘烤箱烘烤固化后的装有芯片的料盒输送出所述烘烤箱外； 料盒输送机构，设置在所述传送机构的下方，用于输送空料盒； 料盒提升机构，设置在所述机架的一端，用于将所述料盒输送机构所输送的空料盒提升至所述传送机构的高度； 芯片上料机构，设置在所述料盒提升机构的一侧，用于将芯片输送至所述料盒提升机构所提升的所述空料盒内； 料盒转运机构，设置在所述传送机构与料盒提升机构之间，用于将所述料盒提升机构上的装有芯片的料盒转运至所述传送机构上； 控制系统，所述控制系统分别与所述传送机构、料盒输送机构、料盒提升机构、芯片上料机构和料盒转运机构电连接。 2.根据权利要求1所述的在线式自动厌氧炉，其特征在于，还包括过渡箱和冷却箱，且所述过渡箱设置在所述烘烤箱靠近所述料盒提升机构的一端，所述冷却箱设置在所述烘烤箱的另一端，所述过渡箱、烘烤箱和冷却箱相互贯通，所述传送机构依次贯穿所述过渡箱、烘烤箱和冷却箱，所述过渡箱和冷却箱的两端也均设置有可升降的密封门，且所述过渡箱和冷却箱的内部也均与保护气气源连通。 3.根据权利要求2所述的在线式自动厌氧炉，其特征在于，所述冷却箱内设置有冷凝器，所述冷凝器与外界水源连通。 4.根据权利要求1所述的在线式自动厌氧炉，其特征在于，所述传送机构包括传送电机和传送链，所述传送链设有两个，两个所述传送链相互间隔，所述传送电机与其中一个所述传送链传动连接，两个所述传送链之间连接有多个料夹，多个所述料夹沿所述传送链的传送方向间隔设置，所述料夹用于卡接所述装有芯片的料盒，所述传送电机与所述控制系统电连接。 5.根据权利要求4所述的在线式自动厌氧炉，其特征在于，所述料盒输送机构包括输送带、输送电机和转移组件，所述输送电机与输送带传动连接，所述转移组件设置在所述输送带末端上方的机架上，所述转移组件用于将所述输送带上的空料盒转移在所述料盒提升机构上，所述输送电机与所述控制系统电连接。 6.根据权利要求5所述的在线式自动厌氧炉，其特征在于，所述转移组件包括转移气缸和转移夹，所述转移气缸的固定端固定在所述机架上，所述转移夹固定在所述转移气缸的伸缩端，所述转移夹用于将所述输送带上的空料盒转移在所述料盒提升机构上。 7.根据权利要求5所述的在线式自动厌氧炉，其特征在于，所述输送带上沿其长度方向间隔设置有多个挡块。 8.根据权利要求6所述的在线式自动厌氧炉，其特征在于，所述料盒提升机构包括竖向导轨、提升电机和支撑板，所述支撑板可滑动的设置在所述竖向导轨上，所述提升电机固定在所述竖向导轨的底部，所述提升电机用于驱动所述支撑板沿所述竖向导轨升降，所述支撑板用于支撑并提升由所述转移夹从所述输送带上转移过来的所述空料盒，所述提升电机与所述控制系统电连接。 9.根据权利要求8所述的在线式自动厌氧炉，其特征在于，所述芯片上料机构包括滑道和芯片推送气缸，所述滑道设置在所述机架上，所述芯片推送气缸的固定端固定在所述机架上，所述芯片推送气缸的自由端用于将所述滑道上的芯片推送在所述支撑板上的空料盒内。 10.根据权利要求9所述的在线式自动厌氧炉，其特征在于，所述料盒转运机构包括转运气缸和转运料夹，所述转运气缸的固定端固定在所述传送机构上方的所述机架上，所述转运料夹固定在所述转运气缸的自由端，所述转运料夹用于将所述支撑板上的所述装有芯片的料盒转运至所述传送链上的所述料夹上，所述转运气缸与所述控制系统电连接。