一种HUD的曲面反射镜及其制造工艺与应用
本发明提供了一种HUD的曲面反射镜及其制造工艺与应用，所述曲面反射镜包括基板及所述基板上层叠设置的至少一层抗紫外线防护层；所述抗紫外线防护层包括层叠设置的第一防护层与第二防护层，所述第一防护层的折射率高于所述第二防护层的折射率，所述抗紫外线防护层中的第一防护层与第二防护层交替设置。本发明提供的制造工艺在保证曲面反射镜的光学性能的情况下，制备得到了具有较高抗紫外线照射性能的曲面反射镜，且未增加镀膜周期，保证了生产效率；同时，所述制造工艺并未改变曲面反射镜的面型。
发明专利
CN202311332749.1
2023-10-16
CN117608014A
2024-02-27
G02B5/10(2006.01)
东莞市宇瞳汽车视觉有限公司
李卫涛;李文勇;赵辅平;李志环;张传阳;刘建伟
523000 广东省东莞市长安镇靖海东路99号1栋901室、902室、903室、904室
北京品源专利代理有限公司
曾菊花
广东;44
1.一种HUD的曲面反射镜，其特征在于，所述曲面反射镜包括基板及所述基板上层叠设置的至少一层抗紫外线防护层； 所述抗紫外线防护层包括层叠设置的第一防护层与第二防护层，所述第一防护层的折射率高于所述第二防护层的折射率，所述抗紫外线防护层中的第一防护层与第二防护层交替设置。 2.根据权利要求1所述的曲面反射镜，其特征在于，所述抗紫外线防护层的层数为10～15层。 3.根据权利要求1或2所述的曲面反射镜，其特征在于，所述第一防护层的厚度为10～200nm； 优选地，所述第二防护层的厚度为10～300nm。 4.根据权利要求1～3任一项所述的曲面反射镜，其特征在于，所述第一防护层的材质包括Ti3O5，Ta2O5，LaTiO3或HfO2中的任意一种或至少两种的组合； 优选地，所述第二防护层的材质包括Al2O3，SiO2或硅铝混合物中的任意一种或至少两种的组合。 5.根据权利要求1～4任一项所述的曲面反射镜，其特征在于，所述第一防护层的材质的折射率为2.0～2.5； 优选地，所述第二防护层的材质的折射率为1.45～1.7。 6.根据权利要求1～5任一项所述的曲面反射镜，其特征在于，所述第一防护层的材质的消光系数小于5.0×10-4； 优选地，所述第二防护层的材质的消光系数小于5.0×10-4。 7.一种权利要求1～6任一项所述曲面反射镜的制造工艺，其特征在于，所述制造工艺包括： 在基板上进行至少一次抗紫外线防护层的沉积，得到曲面反射镜，所述沉积包括依次进行的第一防护层的第一沉积，及第二防护层的第二沉积。 8.根据权利要求7所述的制造工艺，其特征在于，所述第一沉积与第二沉积分别独立地包括射频离子源沉积； 所述制造工艺还包括对基板进行前处理； 优选地，所述前处理包括对基板进行第一除气； 优选地，所述第一除气的方式包括对基板进行烘烤； 优选地，所述烘烤的温度为70～90℃，时间为不低于4h； 优选地，所述前处理还包括所述第一除气后的第二除气； 优选地，所述第二除气包括将基板置于镀膜机中进行抽气的同时进行真空热处理； 优选地，所述真空热处理的温度为50～70℃，时间为10～30min； 优选地，所述前处理还包括：所述镀膜机中的真空度达到第一设定压力时，对制备第一防护层的材料进行预熔； 优选地，所述第一设定压力为2.0×10-3～5.0×10-3Pa； 优选地，所述前处理还包括：所述预熔之后的真空等待，所述真空等待为等待镀膜机中的真空度达到第二设定压力； 优选地，所述第二设定压力为1.0×10-3～2.0×10-3Pa； 优选地，所述前处理还包括所述真空等待之后的离子源清洁； 优选地，所述离子源清洁的时间为50～70s，工作气体为氩气； 优选地，最后一次所述沉积后还包括依次进行的冷却与放气； 优选地，所述冷却的时间为200～400s。 9.根据权利要求7或8所述的制造工艺，其特征在于，所述制造工艺包括： 在70～90℃下对基板进行不低于4h的烘烤，将基板置于镀膜机中进行抽气的同时在50～70℃下进行10～30min的真空热处理，所述镀膜机中的真空度达到2.0×10-3～5.0×10-3Pa时，对制备第一防护层的材料进行预熔，所述预熔之后进行真空等待，所述真空等待为等待镀膜机中的真空度达到1.0×10-3～2.0×10-3Pa，在以氩气为工作气体进行50～70s的离子源清洁，再在基板上进行至少一次抗紫外线防护层的沉积，所述沉积包括依次进行的第一防护层的射频离子源沉积，及第二防护层的射频离子源沉积，最后进行200～400s的冷却后放气，得到曲面反射镜。 10.一种权利要求1～6任一项所述曲面反射镜的应用，其特征在于，所述曲面反射镜用于抬头显示系统。