一种SiC高温炉管设备温度控制方法及系统

摘要：

本发明公开了一种SiC高温炉管设备温度控制方法及系统，方法包括步骤：1)预先获取在按预设温度控制曲线进行升温与保温的过程中，炉管内部温度值与炉管外部温度值之间的映射关系；2)获取炉管外部温度值，并根据炉管内部温度值与炉管外部温度值之间的映射关系，得到相对应的炉管内部温度值；3)以步骤2)中得到的炉管内部温度值作为温度控制值，控制SiC高温炉管设备按预设温度控制曲线进行升温与保温。本发明具有操作简便、温度控制精准等优点。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN202311302670.4

申请日期：2023-10-09

公开/公告号：CN117329833A

公开/公告日：2024-01-02

主分类号：F27B5/18(2006.01)

申请/专利权人:中国电子科技集团公司第四十八研究所

发明/设计人:何永平;杨金;刘港;曾桂辉;陈庆广

主申请人地址:410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号

专利代理机构:湖南兆弘专利事务所(普通合伙)

代理人:廖元宝

国别省市代码:湖南;43

权利要求：

1.一种SiC高温炉管设备温度控制方法，其特征在于，包括步骤： 1)预先获取在按预设温度控制曲线进行升温与保温的过程中，炉管内部温度值与炉管外部温度值之间的映射关系； 2)获取炉管外部温度值，并根据炉管内部温度值与炉管外部温度值之间的映射关系，得到相对应的炉管内部温度值； 3)以步骤2)中得到的炉管内部温度值作为温度控制值，控制SiC高温炉管设备按预设温度控制曲线进行升温与保温。 2.根据权利要求1所述的SiC高温炉管设备温度控制方法，其特征在于，步骤1)的具体过程为： 1.1)获取炉管内部温度值，并作为温度控制值，按预设温度控制曲线进行升温与保温； 1.2)在按预设温度控制曲线进行升温与保温的过程中，获取炉管外部温度值，建立炉管内部温度值与炉管外部温度值之间的映射关系。 3.根据权利要求2所述的SiC高温炉管设备温度控制方法，其特征在于，炉管内部温度值与炉管外部温度值之间的映射关系的更新频率与温度控制设定时间保持一致。 4.根据权利要求2或3所述的SiC高温炉管设备温度控制方法，其特征在于，在步骤1.1)中，通过热电偶获取炉管内部温度值。 5.根据权利要求1或2或3所述的SiC高温炉管设备温度控制方法，其特征在于，通过红外高温计获取炉管外部温度值。 6.根据权利要求1或2或3所述的SiC高温炉管设备温度控制方法，其特征在于，所述预设温度控制曲线中，在预设温度点停留一定时间以缩小炉管内部温度值与炉管外部温度值之间的差值。 7.根据权利要求6所述的SiC高温炉管设备温度控制方法，其特征在于，所述预设温度点为400-600℃。 8.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序在被处理器运行时执行如权利要求1～7中任意一项所述方法的步骤。 9.一种SiC高温炉管设备温度控制系统，包括存储器和处理器，所述存储器上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序在被处理器运行时执行如权利要求1～7中任意一项所述方法的步骤。