一种炉膛抗变形的DCB高温烧结炉
本发明公开了一种炉膛抗变形的DCB高温烧结炉,设计一种拱顶及波纹底的炉膛结构,将炉膛顶部设计成拱顶形,使炉膛顶部受力均匀减少塌顶风险,而炉膛底部采用波纹底设计,增强纵向抗变形能力,防止底部隆起。整个炉膛整体抗变形能力增强,使用寿命延长,保证生产正常进行,生产效率的提高。同时保证了炉膛内温度环境不发生变化,提高产品烧结良率。
发明专利
CN202311248451.2
2023-09-26
CN117490418A
2024-02-02
F27D1/02(2006.01)
上海富乐华半导体科技有限公司
祝林;阳强俊;戴洪兴
200444 上海市宝山区山连路181号3幢
上海申浩律师事务所
赵建敏
上海;31
1.一种炉膛抗变形的DCB高温烧结炉,其特征在于: 所述高温烧结炉的炉膛顶部为拱形顶;所述高温烧结炉的炉膛底面为波纹底。 2.根据权利要求1所述的一种炉膛抗变形的DCB高温烧结炉,其特征在于: 所述炉膛底面均匀设置有多条朝向内侧突出的波纹凸起。 3.根据权利要求1或2所述的一种炉膛抗变形的DCB高温烧结炉,其特征在于: 所述波纹凸起截面为梯形结构,所述梯形结构上边宽度为16-18mm,梯形结构下边宽度为32-36mm,梯形结构高度为8-9mm。 4.根据权利要求3所述的一种炉膛抗变形的DCB高温烧结炉,其特征在于: 所述波纹凸起截面为梯形结构,所述梯形结构上边宽度为17mm,梯形结构下边宽度为38mm,梯形结构高度为8.5mm。 5.根据权利要求2所述的一种炉膛抗变形的DCB高温烧结炉,其特征在于: 相邻波纹凸起的间隔为145-155mm。 6.根据权利要求2所述的一种炉膛抗变形的DCB高温烧结炉,其特征在于: 所述炉膛底面均匀设置有3-5条朝向内侧突出的波纹凸起。 7.根据权利要求1所述的一种炉膛抗变形的DCB高温烧结炉,其特征在于: 所述炉膛顶部的拱形顶的半径R为840-860mm。 8.根据权利要求7所述的一种炉膛抗变形的DCB高温烧结炉,其特征在于: 所述炉膛顶部的拱形顶的半径R为850mm。 9.根据权利要求2所述的一种炉膛抗变形的DCB高温烧结炉,其特征在于: 所述炉膛边缘上小圆角为R1=16mm,下小圆角为R2=10mm。 10.根据权利要求1所述的一种炉膛抗变形的DCB高温烧结炉,其特征在于: 所述炉膛壁厚为6mm,炉膛宽度为670mm,炉膛总高度为146mm,拱形顶边缘至底部高度为126mm。