一种具有热量回收功能的坩埚冷却装置及其冷却方法
本发明公开了一种具有热量回收功能的坩埚冷却装置及其冷却方法，涉及坩埚热量回收技术领域，包括冷却组件和热回收模组，所述冷却组件的内部中央放置有坩埚，所述热回收模组连通于冷却组件的左右两侧下端，且回收模组一侧连通有循环模组。该一种具有热量回收功能的坩埚冷却装置及其冷却方法，通过冷却组件与封盖组件的设置，可以在一定程度上确保对坩埚冷却降温的同时，尽量减少热量逸散，以便于后续热回收模组的运作，从而有效的利用携带高温的冷却液，循环模组既可以对热回收模组与冷却模组中的冷却液进行循环输送，同时可以对冷却液进行过滤，减少不必要的问题，而再利用模组能够进一步在输水贮水的同时，进行余热利用，减少热能浪费。
发明专利
CN202311203573.X
2023-09-18
CN117387364A
2024-01-12
F27B14/00(2006.01)
国工恒昌新材料(义乌)有限公司
陈希春;张勇;陈天涵;高伟;陈庶怀;杨乐
322000 浙江省金华市义乌市大陈镇前山工业区G351国道东侧地块一
苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙)
叶晓龙
浙江;33
1.一种具有热量回收功能的坩埚冷却装置及其冷却方法，包括冷却组件(1)和热回收模组(4)，其特征在于，所述冷却组件(1)的内部中央放置有坩埚(2)，且冷却组件(1)的顶部设置有封盖组件(3)，所述热回收模组(4)连通于冷却组件(1)的左右两侧下端，且热回收模组(4)一侧连通有循环模组(5)，而且热回收模组(4)远离循环模组(5)的一侧由近及远的连通有输出管组(6)和再利用模组(7)，所述热回收模组(4)包括保温罐(401)、加热罐(402)和传输管(403)，所述保温罐(401)的内部设置有加热罐(402)，且加热罐(402)的顶部连接有传输管(403)。 2.根据权利要求1所述的一种具有热量回收功能的坩埚冷却装置及其冷却方法，其特征在于，所述冷却组件(1)包括双层隔热仓(101)、真空隔温层(102)、保温仓(103)和支撑桩(104)，所述双层隔热仓(101)的内部中空设置有真空隔温层(102)，且双层隔热仓(101)的内壁表面贴合设置有保温仓(103)，而且保温仓(103)的底部等距阵列分布有支撑桩(104)。 3.根据权利要求1所述的一种具有热量回收功能的坩埚冷却装置及其冷却方法，其特征在于，所述封盖组件(3)包括密封盖(301)、隔热层(302)和保温盖(303)，所述密封盖(301)的内部设置有隔热层(302)，且密封盖(301)的顶部安装有保温盖(303)。 4.根据权利要求1所述的一种具有热量回收功能的坩埚冷却装置及其冷却方法，其特征在于，所述传输管(403)远离加热罐(402)的一端贯穿于保温罐(401)的顶部，且传输管(403)远离保温罐(401)的一端连通于冷却组件(1)的内部。 5.根据权利要求1所述的一种具有热量回收功能的坩埚冷却装置及其冷却方法，其特征在于，所述循环模组(5)包括回流管(501)、回流泵(502)、过滤仓(503)和金属滤网(504)，所述回流管(501)的中段设置有回流泵(502)，且回流管(501)的下端设置有过滤仓(503)，而且回流管(501)的内部安装有金属滤网(504)，并且回流管(501)的上下两端分别连通于冷却组件(1)和加热罐(402)的内部。 6.根据权利要求1所述的一种具有热量回收功能的坩埚冷却装置及其冷却方法，其特征在于，所述输出管组(6)包括出液泵(601)、过滤器(602)和引流管(603)，所述出液泵(601)靠近括保温罐(401)的一侧连通安装有过滤器(602)，且出液泵(601)远离过滤器(602)的一侧连接有引流管(603)。 7.根据权利要求6所述的一种具有热量回收功能的坩埚冷却装置及其冷却方法，其特征在于，所述再利用模组(7)包括保温储水罐(701)、输出泵(702)、进水管(703)和注水管(704)，所述保温储水罐(701)的顶部安装有输出泵(702)，且保温储水罐(701)的内部贯穿设置有进水管(703)，且进水管(703)的中央连接有注水管(704)。 8.根据权利要求7所述的一种具有热量回收功能的坩埚冷却装置及其冷却方法，其特征在于，所述再利用模组(7)还包括控制阀(705)、贴和套管(706)和导热板(707)，所述进水管(703)的左右两端均安装有控制阀(705)，且进水管(703)位于保温储水罐(701)内部一端的表面套接有贴和套管(706)，而且贴和套管(706)的一侧表面连接设置有导热板(707)。 9.根据权利要求7所述的一种具有热量回收功能的坩埚冷却装置及其冷却方法，其特征在于，所述进水管(703)远离保温储水罐(701)的一端连通于保温罐(401)的内部，且引流管(603)远离出液泵(601)的一端连通于保温储水罐(701)的内部。 10.根据权利要求1-9所述的一种避免管壁粉尘附着的排烟除尘装置及其使用方法，其特征在于，所述使用方法包括以下具体步骤: 步骤一：将坩埚(2)放入预先注入有冷却液的冷却组件(1)的内部，之后在冷却组件(1)的顶部设置好封盖组件(3)，开始对坩埚(2)冷却降温； 步骤二：在冷却液吸收坩埚(2)中含有的高温后，会流入加热罐(402)之中，而此前通过进水管(703)和注水管(704)的连接传输，将外部的冷水注满保温罐(401)的内部，并利用加热罐(402)内部高温的冷却液进行热传导并加热保温罐(401)内的冷水； 步骤三：在加热罐(402)内部携带有高温的冷却液进行热量传导后，通过循环模组(5)的过滤并传输后，再次回流到冷却组件(1)的内部，并对坩埚(2)进行循环降温冷却； 步骤四：保温罐(401)内部的冷水被加热至热水之后，在输出管组(6)的过滤传输下，流入保温储水罐(701)内部进行按需贮存； 步骤五：热水在保温储水罐(701)的内部贮存的过程中难免会有会出现热量逸散的问题，因此通过贴和套管(706)和导热板(707)对热水中的热量传导，可以将贯穿保温储水罐(701)内部的进水管(703)中流经的冷水进行预加热，减少废热流失。