一种使用厚膜电阻试烧标准片监控烧结炉温度的方法
本发明公开了一种厚膜电阻标准试烧方法，属于电子元器件厚膜电阻领域，可应用于厚膜电阻链式烧结炉的炉温监控。设计电极和电阻印刷方案图，然后在固定的制备工艺条件下依次印刷于96％Al2O3陶瓷基片上。厚膜电阻的尺寸为1mm*1mm和2mm*2mm，设计为上下式布局，上半区有204个厚膜电阻，下半区有48个厚膜电阻，共计252个厚膜电阻，有序分布在基片上。当厚膜电阻链式烧结炉开机烧结后，使用飞针测试系统测试烧结后的厚膜电阻阻值，将其与在850℃标准烧结温度烧结条件下测得的厚膜电阻阻值作比较，当两者之间变化率小于6％时视作厚膜电阻链式烧结炉温度正常。本发明能够有效地监控厚膜电阻链式烧结炉的温度状态，从而有效提高厚膜电阻的生产效率。
发明专利
CN202311144266.9
2023-09-05
CN117367163A
2024-01-09
F27D21/00(2006.01)
电子科技大学%中国电子科技集团公司第二十四研究所
兰中文;孙瑞良;廖希异;何万波;刘云;邬传健;孙科;余忠
611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号;
电子科技大学专利中心
曾磊
四川;51
1.一种使用厚膜电阻试烧标准片监控烧结炉温度的方法，其特征在于，包括以下步骤： S1.设计电阻试烧标准片，包括基片、电极、电阻； 所述基片为96％Al2O3陶瓷基片，尺寸为50.8mm*50.8mm*0.63mm； 所述电极形状为长方形，电极在基片上呈现出上下式布局；上半区电极尺寸为1mm长*0.6mm宽，上下间隔0.8mm，左右间隔2.91mm，按照18行12列排列，共有216个电极；下半区电极尺寸为2mm长*1.2mm宽，上下间隔1.6mm，左右间隔5.26mm，按照9行6列排列，共有54个电极；上下半区共计270个电极； 所述电阻形状为正方形，电阻在基片上呈现出上下式布局；上半区电阻尺寸为1mm*1mm，电阻放置于每两个电极的竖直间隔之中；电阻与两个上下电极搭接长度均为0.1mm，每个电阻左右间隔2.91mm均匀分布，按照17行12列排列，共有204个电阻；下半区电阻尺寸为2mm*2mm，电阻放置于每两个电极的竖直间隔之中，电阻与上下两个电极搭接长度均为0.2mm，每个电阻左右间隔5.26mm均匀分布，按照8行6列排列，共有48个电阻，上下半区共有252个电阻；其中一个电阻与两个竖直方向搭接的电极部分重合，形成一个整体； S2.制备电阻试烧标准片，其步骤包括制作光绘片，制网，曝光，封网，电极的印刷、流平、干燥与烧结，电阻的印刷、流平与干燥； S3.使用热电偶确定厚膜电阻链式烧结炉内为标准烧结温度850℃，再将试烧片放置其中进行烧结，烧结温度850℃，烧结时长90min； S4.通过飞针测试系统测量尺寸为1mm*1mm和2mm*2mm的烧结完成后的标准电阻试烧片电阻阻值的平均值，视作炉温正常时电阻的参比数据，再与标准炉温时电阻的参考值做比较，当两者的变化率在6％以下时，视作炉温正常，便可进行大批量厚膜电阻烧结。 2.根据权利要求1所述的厚膜电阻标准试烧方法，其特征在于，所述变化率的计算方式为：变化率＝(刚烧结出的试烧片电阻平均值-标准温度850℃烧结出的试烧片电阻平均值)/标准温度850℃烧结出的试烧片电阻平均值*100％。