一种带有氩气流量监控功能的ICP气流保护装置

摘要：

本实用新型属于ICP技术领域，公开了一种带有氩气流量监控功能的ICP气流保护装置，包括氩气管，所述氩气管内设置有压缩氩气，所述氩气管上依次设置有减压阀和质量流量控制器，所述质量流量控制器位于减压阀的出气端。本方案通过在氩气管上安装质量流量控制器，从而质量流量控制器实时监测氩气管内的压缩氩气的流量，并将检测的气流数据反馈给ICP主控系统的上位机软件，同时ICP主控系统的上位机软件将设置的气流电压信号发送给气流保护系统，气流保护系统对比反馈数据和设置数据，如果差值超出安全阈值的范围，将直接发送指令关闭ICP设备的供电设备，避免由于气体在使用完毕或者气流不稳定的情况下影响测试数据，甚至损坏ICP设备。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN202021750956.0

申请日期：2020-08-20

公开/公告号：CN213207289U

公开/公告日：2021-05-14

主分类号：F17D3/01(2006.01)

申请/专利权人:苏州普业仪器有限公司

发明/设计人:吴海荣

主申请人地址:215300 江苏省苏州市巴城镇城北西路555号7号楼4楼

专利代理机构:深圳紫晴专利代理事务所(普通合伙)

代理人:陈映辉

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

1.一种带有氩气流量监控功能的ICP气流保护装置，包括氩气管(1)，其特征在于：所述氩气管(1)内设置有压缩氩气，所述氩气管(1)上依次设置有减压阀(2)和质量流量控制器(3)，所述质量流量控制器(3)位于减压阀(2)的出气端，所述质量流量控制器(3)的输出端双向信号连接有ICP主控系统的上位机软件(4)，所述ICP主控系统的上位机软件(4)的输出端双向信号连接有气流保护系统(5),所述气流保护系统(5)的输出端电性连接有ICP设备的供电设备(6)。