5G小型基站射频声波滤波器
本实用新型提供了一种5G小型基站射频声波滤波器，包括：谐振器衬底(1)、谐振器压电层(5)、谐振器上电极以及反射构件；所述谐振器衬底(1)设置于5G小型基站射频声波滤波器的底部；所述谐振器衬底(1)的电阻大于设定阈值；所述谐振器压电层(5)采用压电薄膜材料；所述谐振器上电极设置于5G小型基站射频声波滤波器的上部；所述反射构件设置于5G小型基站射频声波滤波器的中部；所述谐振器压电层(5)设置于5G小型基站射频声波滤波器的上部。本实用新型通过提出拆分法来提高普通谐振器的电极面积，在保持谐振器电学性能不变的前提下，提高了谐振器的可承载功率。
实用新型
CN202021730190.X
2020-08-19
CN212785289U
2021-03-23
H03H9/02(2006.01)
合肥先微企业管理咨询合伙企业(有限合伙)
高安明;刘伟;姜伟
230001 安徽省合肥市庐阳区临泉路与凤淮路交口枫林雅苑1#901
上海段和段律师事务所
李佳俊%郭国中
安徽;34
1.一种5G小型基站射频声波滤波器，其特征在于，包括：谐振器衬底(1)、谐振器压电层(5)、谐振器上电极以及反射构件； 所述谐振器衬底(1)设置于5G小型基站射频声波滤波器的底部； 所述谐振器衬底(1)的电阻大于设定阈值； 所述谐振器压电层(5)采用压电薄膜材料； 所述谐振器上电极设置于5G小型基站射频声波滤波器的上部； 所述反射构件设置于5G小型基站射频声波滤波器的中部； 所述谐振器压电层(5)设置于5G小型基站射频声波滤波器的上部。 2.根据权利要求1所述的5G小型基站射频声波滤波器，其特征在于，还包括：牺牲层(2)、保护层(3)、谐振器平板底电极(4)； 所述反射构件采用空气反射腔(7)； 所述牺牲层(2)形成于谐振器衬底(1)之上；所述牺牲层(2)的厚度与空气反射腔(7)的厚度相等； 所述谐振器衬底(1)采用以下任意一种： -蓝宝石衬底； -碳化硅衬底； -单晶硅衬底； -高阻硅衬底； 所述牺牲层(2)采用以下任意一种： -用湿法刻蚀除去的材料； -用干法刻蚀除去的材料； 所述保护层(3)形成于牺牲层(2)之中。 3.根据权利要求2所述的5G小型基站射频声波滤波器，其特征在于，所述谐振器平板底电极(4)采用平板结构； 所述谐振器平板底电极(4)和谐振器平板上电极(6)之间形成激发电场； 所述激发电场能够在谐振器压电层(5)激发出声波； 所述谐振器平板底电极(4)采用以下任一种连接方式： -接地； -接电 所述谐振器平板底电极(4)采用金属薄膜； 所述谐振器平板底电极(4)采用以下任一种： -钼薄膜； -钌薄膜； -铂金薄膜； 所述谐振器平板底电极(4)的厚度小于设定阈值； 所述谐振器压电层(5)采用以下任一种： -铌酸锂； -钽酸锂； -氮化铝； -掺杂氮化铝； -钛酸锶钡。 4.根据权利要求3所述的5G小型基站射频声波滤波器，其特征在于，所述谐振器上电极采用谐振器平板上电极(6)。 5.根据权利要求4所述的5G小型基站射频声波滤波器，其特征在于，谐振器平板上电极(6)采用平板结构； 所述谐振器平板上电极(6)采用以下任意一种连接方式： -接地； -接电； 所述谐振器平板上电极(6)和谐振器平板底电极(4)之间交叉接电或接地以形成电场； 所述谐振器平板上电极(6)采用金属薄膜电极； 所述谐振器平板上电极(6)采用以下任一种： -钼电极； -钌电极； -铂金电极； -铝电极； -金电极。 6.根据权利要求3所述的5G小型基站射频声波滤波器，其特征在于，所述谐振器上电极采用：谐振器交叉上电极(8)； 所述谐振器交叉上电极(8)采用以下任意一种连接方式： -接地； -接电； -交叉电极轮流接电和接地。 7.根据权利要求1所述的5G小型基站射频声波滤波器，其特征在于，还包括：谐振器平板底电极(4)； 所述反射构件采用镜面反射器(11)； 所述谐振器上电极采用谐振器平板上电极(6)； 所述镜面反射器(11)包括：一个或者多个低阻抗反射层(9)； 所述镜面反射器(11)包括：一个或者多个高阻抗反射层(10)； 所述多个低阻抗反射层(9)与多个高阻抗反射层(10)形成镜面反射器(11)。 8.根据权利要求7所述的5G小型基站射频声波滤波器，其特征在于，所述低阻抗反射层(9)的层数为一层或者多层；低阻抗反射层(9)的数目一般为多层； 所述低阻抗反射层(9)设置于谐振器平板底电极(4)的下方； 所述低阻抗反射层(9)采用低声波阻抗反射层； 所述低阻抗反射层(9)采用二氧化硅反射层。 9.根据权利要求8所述的5G小型基站射频声波滤波器，其特征在于，所述高阻抗反射层(10)采用以下任意一种： -钨反射层； -铂金反射层； -氮化硅反射层； -氮化铝反射层。 10.根据权利要求1所述的5G小型基站射频声波滤波器，其特征在于，所述谐振器上电极采用：谐振器交叉上电极(8)； 所述谐振器交叉上电极(8)的电极分别轮流接地和接电； 所述反射构件包括：镜面反射器(11)； 所述镜面反射器(11)包括：一个或者多个低阻抗反射层(9)； 所述镜面反射器(11)包括：一个或者多个高阻抗反射层(10)； 所述多个低阻抗反射层(9)与多个高阻抗反射层(10)形成镜面反射器(11)。