一种气体分流柜管路排布结构
本申请涉及一种气体分流柜管路排布结构，其包括管路本体，管路本体包括气瓶工作管路和吹扫管路，气瓶工作管路包括第一供气管路、第二供气管路和排气管路，第一供气管路的进气口处有第一钢瓶，第一钢瓶的出气口有第一安全阀，第一钢瓶上有第一控制阀，第一供气管路上有第一压力传感器、第一减压阀和第一气动隔离阀，第二供气管路的进气口处有第二钢瓶，第二钢瓶上有第二控制阀，第二钢瓶的出气口有第二安全阀，第二供气管路上有第二压力传感器、第二减压阀和第二气动隔离阀。本申请具有第一钢瓶和第二钢瓶之间进行切换，可对反应设备进行连续供气，有利于保证反应设备正常的生产，有利于防止造成资源损失，有利于节约资源的效果。
实用新型
CN202021543855.6
2020-07-30
CN212644233U
2021-03-02
F17C13/00(2006.01)
上海栎智机电科技有限公司
徐正军;张繁;曾志勇
201400 上海市奉贤区南桥镇解放东路121号715室
上海;31
1.一种气体分流柜管路排布结构，包括管路本体（1），其特征在于：所述管路本体（1）包括气瓶工作管路（11）和吹扫管路（12），所述气瓶工作管路（11）包括第一供气管路（111）、第二供气管路（112）和排气管路（113），第一供气管路（111）的进气口处设置有第一钢瓶（2），第一钢瓶（2）的出气口设置有第一安全阀（3），且第一钢瓶（2）上设置有第一控制阀（4），第一供气管路（111）上设置有第一压力传感器（5）、第一减压阀（6）和第一气动隔离阀（7），且第一减压阀（6）设置在第一压力传感器（5）和第一气动隔离阀（7）之间；所述第二供气管路（112）的进气口处设置有第二钢瓶（8），第二钢瓶（8）上设置有第二控制阀（9），第二钢瓶（8）的出气口设置有第二安全阀（10），第二供气管路（112）上设置有第二压力传感器（20）、第二减压阀（21）和第二气动隔离阀（13），且第二减压阀（21）设置在第二压力传感器（20）和第二气动隔离阀（13）之间；所述第一供气管路（111）远离第一钢瓶（2）的一端和第二供气管路（112）远离第二钢瓶（8）的一端均与排气管路（113）相连通。 2.根据权利要求1所述的一种气体分流柜管路排布结构，其特征在于：所述吹扫管路（12）包括吹扫进气管路（121）和吹扫出气管路（122），吹扫进气管路（121）的一端连通设置有第一进气管路（22）和第二进气管路（23），第一进气管路（22）远离吹扫进气管路（121）的一端连通设置在第一压力传感器（5）和第一减压阀（6）之间的第一供气管路（111）上，且第一进气管路（22）上设置有第一气动吹扫隔离阀（24），第二进气管路（23）远离吹扫进气管路（121）的一端连通设置在第二压力传感器（20）和第二减压阀（21）之间的第二供气管路（112）上，且第二进气管路（23）上设置有第二气动吹扫隔离阀（25）；所述吹扫出气管路（122）的一端连接设置有真空发生器装置（26），吹扫出气管路（122）的另一端连通设置有第一出气管路（27）和第二出气管路（28），且第一出气管路（27）远离吹扫出气管路（122）的一端连通设置在第一压力传感器（5）和第一减压阀（6）之间的第一供气管路（111）上，且第一出气管路（27）上设置有第一气动排放阀（29），第二气动管路远离吹扫出气管路（122）的一端连通设置在第二压力传感器（20）和第二减压阀（21）之间的第二供气管路（112）上，且第二出气管路（28）上设置有第二气动排放阀（30）。 3.根据权利要求2所述的一种气体分流柜管路排布结构，其特征在于：所述第一进气管路（22）和第二进气管路（23）上均设置有单向阀（31），且单向阀（31）位于第一吹扫隔离阀和第一进气管路（22）进口端之间、第二吹扫隔离阀和第二进气管路（23）进口端之间。 4.根据权利要求1所述的一种气体分流柜管路排布结构，其特征在于：所述第一供气管路（111）和第二供气管路（112）上均设置有垫片过滤器（14），且垫片过滤器（14）分别位于第一压力传感器（5）和第一减压阀（6）之间、第二压力传感器（20）和第二减压阀（21）之间。 5.根据权利要求1所述的一种气体分流柜管路排布结构，其特征在于：所述排气管路（113）上设置有过滤保护开关（15）和终端过滤器（16），且过滤保护开关（15）位于终端过滤器（16）远离排气管路（113）出气口的一端。 6.根据权利要求1所述的一种气体分流柜管路排布结构，其特征在于：所述第一供气管路（111）和第二供气管路（112）上均设置有手动隔离阀（17），且手动隔离阀（17）分别位于第一气动隔离阀（7）远离第一减压阀（6）的一端、第二气动隔离阀（13）远离第二减压阀（21）的一端。 7.根据权利要求1所述的一种气体分流柜管路排布结构，其特征在于：所述第一供气管路（111）和第二控制管路上均设置有气体流量计（18）。 8.根据权利要求1所述的一种气体分流柜管路排布结构，其特征在于：所述第一供气管路（111）和第二供气管路（112）上均设置有压力表（19）。