一种气体输送系统

摘要：

本实用新型公开了一种气体输送系统，涉及气体输送技术领域，其包括气体输送支路，气体输送支路包括依次连接的气体输入段、气体调压段和气体输出段，气体输入段上依次连接有气体输入端口和输入开关阀，气体调压段上依次连接有调压阀和第一压力表，气体输出段上依次连接有输出开关阀和气体输出端口，气体输入段和气体调压段之间连接有惰性气体输入支路，气体调压段与气体输出段之间连接有抽空支路，惰性气体输入支路上依次连接有惰性气体输入端口和吹扫进口阀；抽空支路上依次连接有抽空开关阀和抽空排气部。本实用新型利用惰性气体输入支路和抽空支路对气体调压段进行置换和吹扫作业，进而提高气体调压段中的清洁度，提高输出气体的纯度。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN202021514501.9

申请日期：2020-07-27

公开/公告号：CN213272049U

公开/公告日：2021-05-25

主分类号：F17D1/02(2006.01)

申请/专利权人:上海栎智机电科技有限公司

发明/设计人:任如;徐正军

主申请人地址:201400 上海市奉贤区南桥镇解放东路121号715室

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1.一种气体输送系统，其特征在于，包括气体输送支路（1），气体输送支路（1）包括依次连接的气体输入段（11）、气体调压段（12）和气体输出段（13），所述气体输入段（11）上依次连接有气体输入端口（111）和输入开关阀（112），所述气体调压段（12）上依次连接有调压阀（121）和第一压力表（122），所述气体输出段（13）上依次连接有输出开关阀（131）和气体输出端口（132），所述气体输入段（11）和气体调压段（12）之间连接有惰性气体输入支路（2），所述气体调压段（12）与气体输出段（13）之间连接有抽空支路（3），所述惰性气体输入支路（2）上依次连接有惰性气体输入端口（21）和吹扫进口阀（22）；所述抽空支路（3）上依次连接有抽空开关阀（31）和抽空排气部。 2.根据权利要求1所述的一种气体输送系统，其特征在于，所述气体输入段（11）位于输入开关阀（112）的后端依次连接有第二压力表（113）和调压前端阀（115）。 3.根据权利要求2所述的一种气体输送系统，其特征在于，所述气体输入段（11）位于气体输入端口（111）与输入开关阀（112）之间并联有扩充预留阀（4）。 4.根据权利要求2所述的一种气体输送系统，其特征在于，所述惰性气体输入支路（2）位于吹扫进口阀（22）的后端依次连接有第三压力表（24）和吹扫开关阀（26）。 5.根据权利要求4所述的一种气体输送系统，其特征在于，所述惰性气体输入支路（2）位于吹扫进口阀（22）和第三压力表（24）之间连接有单向阀（23）。 6.根据权利要求1所述的一种气体输送系统，其特征在于，所述抽空排气部设置为真空发生器（32）。 7.根据权利要求5所述的一种气体输送系统，其特征在于，所述气体输入段（11）位于第三压力表（24）的后端并联有多个第一输入支路（114），任一所述第一输入支路（114）的另一端均连接有所述气体调压段（12），且任一所述第一输入支路（114）上均连接有所述调压前端阀（115），所述惰性气体输入支路（2）位于第三压力表（24）的后端对应第一输入支路（114）并联有多个第二输入支路（25），任一所述第二输入支路（25）的另一端与气体调压段（12）相连接，且任一所述第二输入支路（25）上均连接有所述吹扫开关阀（26），任一所述气体输送支路（1）的气体调压段（12）与气体输出段（13）之间均连接有所述抽空支路（3），且相邻所述抽空支路（3）位于抽空开关阀（31）的后端呈并联设置。 8.根据权利要求1所述的一种气体输送系统，其特征在于，所述惰性气体输入端口（21）设置为氮气输入端口。