一种三氯硅烷尾气分离回收装置
本实用新型公开了一种三氯硅烷尾气分离回收装置，包括回收罐和除尘器，所述除尘器一侧设置有进气管，所述除尘器远离所述进气管的一侧设置有传输管，所述传输管远离所述除尘器的一端设置有缓冲罐，所述缓冲罐远离所述除尘器的一侧设置有压缩机，所述压缩机远离所述缓冲罐的一侧设置有冷却器。有益效果在于：通过设计防潮层和海绵层使三氯硅烷不会接触到外来水汽，在存储过程中保持干燥，不会发生反应以及造成危险，通过设计自锁轴、自锁轮和轮槽，使三氯硅烷的回收罐在进行短距离搬运时可以减少工作人员的人数的同时减轻工作量。
实用新型
CN202021513527.1
2020-07-28
CN212691478U
2021-03-12
F17C5/06(2006.01)
浙江开化合成材料有限公司
郑云峰;陈道伟;汪玉林;余晖
324300 浙江省衢州市开化县华埠镇新安路10号
北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙)
曹玉清
浙江;33
1.一种三氯硅烷尾气分离回收装置，其特征在于：包括回收罐(10)和除尘器(2)，所述除尘器(2)一侧设置有进气管(1)，所述除尘器(2)远离所述进气管(1)的一侧设置有传输管(3)，所述传输管(3)远离所述除尘器(2)的一端设置有缓冲罐(4)，所述缓冲罐(4)远离所述除尘器(2)的一侧设置有压缩机(5)，所述压缩机(5)远离所述缓冲罐(4)的一侧设置有冷却器(6)，所述冷却器(6)远离所述压缩机(5)的一侧设置有加热器(7)，所述加热器(7)的另一侧设置有反应釜(8)，所述反应釜(8)一侧设置有存渣罐(9)，所述存渣罐(9)远离所述反应釜(8)的一侧设置有所述回收罐(10)，所述回收罐(10)的一侧壁设置有管道(13)，所述管道(13)上方设置有进口阀(11)，所述管道(13)远离所述回收罐(10)的一端设置有海绵层(12)，所述回收罐(10)内侧壁设置有防潮层(15)，所述回收罐(10)下方设置有轮槽(16)，所述轮槽(16)下方设置有轴套(18)，所述轴套(18)两端设置有连接板(19)，所述连接板(19)下方设置有自锁轮(14)，所述轴套(18)内设置有自锁轴(17)。 2.根据权利要求1所述的一种三氯硅烷尾气分离回收装置，其特征在于：所述海绵层(12)和所述管道(13)插接，所述进口阀(11)和所述管道(13)插接，所述回收罐(10)和所述管道(13)焊接。 3.根据权利要求1所述的一种三氯硅烷尾气分离回收装置，其特征在于：所述防潮层(15)铺满所述回收罐(10)，所述回收罐(10)和所述防潮层(15)粘接，所述轮槽(16)成型于所述回收罐(10)上。 4.根据权利要求1所述的一种三氯硅烷尾气分离回收装置，其特征在于：所述轴套(18)和所述回收罐(10)插接，所述轴套(18)和所述自锁轴(17)转动连接。 5.根据权利要求1所述的一种三氯硅烷尾气分离回收装置，其特征在于：所述除尘器(2)、所述传输管(3)、所述缓冲罐(4)、所述压缩机(5)、所述冷却器(6)、所述加热器(7)、所述反应釜(8)、所述存渣罐(9)均和所述回收罐(10)通过所述传输管(3)连接。 6.根据权利要求1所述的一种三氯硅烷尾气分离回收装置，其特征在于：所述连接板(19)和所述自锁轴(17)转动连接，所述自锁轮(14)和所述连接板(19)转动连接。