一种氮化镓生产用氮气供气管线

摘要：

本实用新型涉及一种氮化镓生产用氮气供气管线，属于氮化镓生产技术领域。所述氮气供气管线包括第一供气管线和第二供气管线，第一供气管线和第二供气管线通过共用管连接，末端通过三通连接共同的出气管线，所述供气管线通过带穿孔的固定件固定在墙壁上。本实用新型设计的供气管线通过多个开关阀可以使第一供气管线和第二供气管线随意切换共用，使用灵活方便。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN202021415255.1

申请日期：2020-07-17

公开/公告号：CN212617643U

公开/公告日：2021-02-26

主分类号：F17D1/04(2006.01)

申请/专利权人:山东科恒晶体材料科技有限公司

发明/设计人:石恒业;邵永亮;张保国;胡海啸;李仕蛟

主申请人地址:255100 山东省淄博市淄川经济开发区胶王路辅道以北、西十二路以东

专利代理机构:北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人:左海明

国别省市代码:山东;37

权利要求：

1.一种氮化镓生产用氮气供气管线，其特征在于，所述氮气供气管线包括第一供气管线和第二供气管线，两供气管线进气端分别设有低温液体汽化器，并分别设有压力表a和压力表b，所述第一供气管线在压力表a之后设有开关阀a,所述第二供气管线在压力表b的之后设有开关阀e，所述第一供气管线在开关阀a的之后设有三通a，所述第二供气管线在开关阀e的之后设有三通c，所述三通a和三通b之间通过共用管连接，所述共用管上设有开关阀d，所述第一供气管线在三通a之后设有开关阀b，所述第一供气管线在开关阀b之后设有调节阀a，所述第一供气管线在调节阀a之后设有过滤器a，所述过滤器a之后设有开关阀c；所述第二供气管线在三通b之后设有开关阀f，所述开关阀f之后设有调节阀b，所述调节阀b之后设有过滤器b，所述过滤器b之后设有开关阀g，所述第一供气管线的开关阀c之后部分与第二供气管线的开关阀g之后部分通过三通e连接在同一出气管线上，所述供气管线通过多个带穿孔的固定件固定在墙壁上。 2.根据权利要求1所述的氮化镓生产用氮气供气管线，其特征在于，所述供气管线设有放空总管，所示第一供气管线在压力表a与开关阀a之间设有三通b，所三通b连接有第一放空管，所述第一放空管上设有开关阀d，所述第二供气管线在压力表b与开关阀e之间设有三通d，所述三通d连接有第二放空管，所述第二放空管设有开关阀h，所述第一放空管和第二放空管的末端通过三通f连接放空总管。 3.根据权利要求1或2所述的氮化镓生产用氮气供气管线，其特征在于，所述调节阀a连接有压力表c，所述调节阀b连接有压力表d。 4.根据权利要求1所述的氮化镓生产用氮气供气管线，其特征在于，所述固定件包括基座和固定板，所述基座和固定板的接触面上分别对应的开有弧形凹口，所述固定板的两端开有穿孔，相对应的在所述基座上开有两个内螺纹安装孔，并设有螺钉将固定板连接在基座上,供气管线固定于基座与固定板的弧形凹口构成的穿孔中。