一种气体置换及压力调节系统

摘要：

本实用新型公开了一种气体置换及压力调节系统，该系统在气源和反应器之间增设四通，同时四通连接至抽真空系统，通过气源和真空泵的配合，实现对反应器中气体的进行置换，该装置针对反应器调节反应气氛，实现对反应器进行高效气体置换及压力调节；通过反复对反应器进行抽气、充气操作，实现对反应器内气体的置换。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN202021092670.8

申请日期：2020-06-12

公开/公告号：CN212480824U

公开/公告日：2021-02-05

主分类号：F17C5/06(2006.01)

申请/专利权人:北京泊菲莱科技有限公司

发明/设计人:刘欢;刘忠宝;张涛;王磊;张卓磊

主申请人地址:100039 北京市海淀区永定路88号11层A08

专利代理机构:西安通大专利代理有限责任公司

代理人:李红霖

国别省市代码:北京;11

权利要求：

1.一种气体置换及压力调节系统，其特征在于，包括气源(1)和四通(10)，气源(1)出气端和四通(10)的第一端口连接，四通(10)的第三端口连接有真空泵(6)，四通(10)的第四端口连接有若干个反应器(8)； 气源(1)和四通(10)的第一端口之间设置有第一电磁阀(2)，四通(10)的第三端口和真空泵(6)之间设置有第二电磁阀(3)。 2.根据权利要求1所述的一种气体置换及压力调节系统，其特征在于，气源(1)和第一电磁阀(2)之间设置有调节阀(4)。 3.根据权利要求1所述的一种气体置换及压力调节系统，其特征在于，四通(10)的第二端口连接至泄压阀(5)。 4.根据权利要求1所述的一种气体置换及压力调节系统，其特征在于，每一个反应器(8)的进气端设置有一个第三电磁阀(7)，所有的第三电磁阀(7)和四通(10)的第四端口连接。 5.根据权利要求1所述的一种气体置换及压力调节系统，其特征在于，每一个反应器(8)连接有一个传感器(9)。 6.根据权利要求5所述的一种气体置换及压力调节系统，其特征在于，传感器(9)连接至控制系统。