一种无水氟化氢卸料装置

摘要：

一种无水氟化氢卸料装置，包括槽车、原料储罐和氮气罐，原料储罐底部设有称重装置，内部设有雷达波液位计量器，原料储罐通过卸料管与槽车相互连接，卸料管一端设有紧急断料阀，氮气罐通过氮气输入管与槽车相互连接，氮气输入管一端设有紧急氮气切断阀，其另一端位于氮气罐方向设有电控安全阀；本申请通过将氮气经氮气输入管输入进槽车中，使得无水氟化氢自动经过卸料管输入进原料储罐内，在卸料过程中，由于原料储罐底部设有称重装置，内部设有雷达波液位计量器，达到了保证作业安全的有益效果。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN202020951727.9

申请日期：2020-05-29

公开/公告号：CN212745973U

公开/公告日：2021-03-19

主分类号：F17C7/00(2006.01)

申请/专利权人:昆山欣谷微电子材料有限公司

发明/设计人:骆家拴

主申请人地址:215000 江苏省苏州市昆山市千灯镇秦峰北路219号

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

1.一种无水氟化氢卸料装置，包括槽车（1）、原料储罐（2）和氮气罐（3），其特征在于：所述原料储罐（2）底部设有称重装置（22），内部设有雷达波液位计量器（21），所述原料储罐（2）通过卸料管（11）与槽车（1）相互连接，所述卸料管（11）一端，位于槽车（1）方向设有紧急断料阀（111），所述氮气罐（3）通过氮气输入管（12）与槽车（1）相互连接，所述氮气输入管（12）一端，位于槽车（1）方向设有紧急氮气切断阀（121），其另一端位于氮气罐（3）方向设有电控安全阀（31）。 2.根据权利要求1所述的一种无水氟化氢卸料装置，其特征在于：所述原料储罐（2）底部设有1-2个称重装置（22）。 3.根据权利要求1所述的一种无水氟化氢卸料装置，其特征在于：所述原料储罐（2）内部设有1-2个雷达波液位计量器（21）。