4吋规格notch基片的寻边装置和光刻系统

摘要：

本实用新型实施例公开了一种4吋规格notch基片的寻边装置和光刻系统，该4吋规格notch基片的寻边装置包括：载片台，用于承载基片；驱动组件，用于驱动载片台上的基片绕其中心旋转；发射光纤传感器，固定于载片台的底部，用于发射第一光信号，第一光信号照射至基片上；接收光纤传感器，固定于载片台的一侧，用于接收第一光信号经过基片后形成的第二光信号；处理器，与发射光纤传感器和接收光纤传感器通信连接，并根据第一光信号对应的电信号和第二光信号对应的电信号，确定基片的notch位置。本实用新型实施例提供的寻边装置，对原有寻flat信号的改造，使之具有寻notch功能，即可使Nikon G6光刻机能够实现4吋规格notch基片基于notch口的寻边，满足技术需求。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN202020861795.6

申请日期：2020-05-21

公开/公告号：CN212256005U

公开/公告日：2020-12-29

主分类号：G03F7/20(2006.01)

申请/专利权人:上海探跃半导体设备有限公司

发明/设计人:李华;王晓军

主申请人地址:200000 上海市浦东新区宣桥镇宣秋路210号E幢1楼北侧101室

专利代理机构:北京品源专利代理有限公司

代理人:孟金喆

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1.一种4吋规格notch基片的寻边装置，其特征在于，包括： 载片台，用于承载基片； 驱动组件，用于驱动所述载片台上的所述基片绕其中心旋转； 发射光纤传感器，固定于所述载片台的底部，用于发射第一光信号，所述第一光信号照射至所述基片上； 接收光纤传感器，固定于所述载片台的一侧，用于接收所述第一光信号经过所述基片后形成的第二光信号； 处理器，与所述发射光纤传感器和所述接收光纤传感器通信连接，并根据所述第一光信号对应的电信号和所述第二光信号对应的电信号，确定所述基片的notch位置。 2.根据权利要求1所述的4吋规格notch基片的寻边装置，其特征在于，所述处理器还与所述驱动组件通信连接，所述驱动组件用于在所述处理器的控制下驱动所述基片旋转。 3.根据权利要求1所述的4吋规格notch基片的寻边装置，其特征在于，所述处理器包括工控板以及焊接在所述工控板上的单片机。 4.根据权利要求3所述的4吋规格notch基片的寻边装置，其特征在于，所述单片机包括OF信号板U36； 所述发射光纤传感器电连接至所述OF信号板U36的8脚； 所述接收光纤传感器电连接至所述OF信号板U36的6脚； 所述驱动组件电连接至所述OF信号板U36的5脚。 5.根据权利要求1所述的4吋规格notch基片的寻边装置，其特征在于，所述驱动组件包括电机； 所述电机的转轴头部由绝缘保护套包裹。 6.根据权利要求5所述的4吋规格notch基片的寻边装置，其特征在于，所述绝缘保护套包括橡皮套。 7.根据权利要求1所述的4吋规格notch基片的寻边装置，其特征在于，还包括单片滚轴； 所述单片滚轴安装于所述载片台的一侧，用于定位所述基片的notch口。 8.一种光刻系统，其特征在于，包括权利要求1-7任一项所述的4吋规格notch基片的寻边装置。