F-θ物镜以及用于激光材料加工的装置

摘要：

本发明涉及一种F‑θ物镜(1)以及用于激光材料加工的装置，其具有以下特征：安装在第一物镜壳体(2)中的第一透镜元件(4)，其中该第一物镜壳体为被调整旋转的物镜壳体；以及安装在第二物镜壳体(3)中的包括至少一个透镜(5，6，7)的第二光学组件，该第二光学组件通过填充装架技术来制备，即形成填充装架的物镜壳体部件，其中该第一物镜壳体和第二物镜壳体在连接区域V中彼此相连。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN202020483422.X

申请日期：2020-04-03

公开/公告号：CN212135049U

公开/公告日：2020-12-11

主分类号：G02B13/00(2006.01)

申请/专利权人:业纳光学系统有限公司

发明/设计人:蒂姆·巴尔德希芬;尤尔根·韦斯;克斯汀·莱昂哈特;比吉特·马西诺

主申请人地址:德国耶拿市07745高茨维策大街25号

专利代理机构:上海智信专利代理有限公司

代理人:邓琪

国别省市代码:德国;DE

权利要求：

1.一种F-θ物镜(1)，其特征在于，具有以下特征： 安装在第一物镜壳体(2)中的第一透镜元件(4)，其中该第一物镜壳体(2)为被调整旋转的物镜壳体；以及 安装在第二物镜壳体(3)中的包括至少一个透镜(5，6，7)的第二光学组件，该第二物镜壳体为填充装架的物镜部件， 其中该第一物镜壳体和第二物镜壳体在连接区域中彼此相连。 2.根据权利要求1所述的F-θ物镜(1)，其特征在于，该第一透镜元件(4)为单个透镜或由至少两个组装后的透镜元件组成的透镜组，这些透镜元件分别以非常小的间距相对彼此布置或以镜片贴镜片的方式相对彼此布置。 3.根据权利要求1或2所述的F-θ物镜(1)，其特征在于，该第一物镜壳体和第二物镜壳体可松脱地彼此相连。 4.根据权利要求3所述的F-θ物镜(1)，其特征在于，该第一物镜壳体和第二物镜壳体拧接。 5.根据权利要求1或2所述的F-θ物镜(1)，其特征在于，在该第一物镜壳体(2)与该第二物镜壳体(3)之间能够安装器件，以改变该第一物镜壳体(2)与该第二物镜壳体(3)之间的轴向间距。 6.根据权利要求3所述的F-θ物镜(1)，其特征在于，还具有器件(80)，以在第一位置中以及在至少一个与该第一位置不同的第二位置中将该第一物镜壳体(2)与该第二物镜壳体(3)相连。 7.一种用于激光材料加工的装置，其特征在于该装置具有以下特征： 用于发射激光束(L)的激光射束源；以及 根据以上权利要求之一所述的F-θ物镜，用于将该激光束(L)聚焦到加工平面(BE)上。