一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统

摘要：

本实用新型公开了一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统，半导体设备机台内设有气缸，气缸包括缸体和活塞杆，系统包括：感应单元，包括感应片、感应器、安装支架和位置调节机构，感应片固定在活塞杆的顶部侧壁上，感应器安装在安装支架上，安装支架经位置调节机构与缸体的顶部端面相连接；报警单元，安装在半导体设备机台上；控制器，分别与气缸和感应器相连接，控制器还经常闭继电器与报警单元相连接。本实用新型能准确高效地侦测气缸的实际动作的作用；并且，避免了感应器存在故障或一直保持同一状态导致的失效风险；同时，当侦测系统断电或者程序故障，常闭继电器会断开，使报警单元立刻发出警报，从而有效地提高了保护效果。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN202020458014.9

申请日期：2020-04-01

公开/公告号：CN212003813U

公开/公告日：2020-11-24

主分类号：F15B19/00(2006.01)

申请/专利权人:上海裕诗实业有限公司

发明/设计人:彭代全

主申请人地址:201620 上海市松江区新松江路1800弄3号

专利代理机构:上海伯瑞杰知识产权代理有限公司

代理人:王一琦

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1.一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统，所述半导体设备机台内设有气缸，所述气缸包括缸体和活塞杆，其特征在于，所述系统包括： 感应单元，包括感应片、感应器、安装支架和位置调节机构，所述感应片固定在所述活塞杆的顶部侧壁上，所述感应器安装在所述安装支架上，所述安装支架经所述位置调节机构与所述缸体的顶部端面相连接，所述位置调节机构用于调节所述感应器相对于所述缸体的位置，其中，当所述活塞杆下降到位后，所述感应器的位置与所述感应片的位置相对应； 报警单元，安装在所述半导体设备机台上； 控制器，分别与所述气缸和感应器相连接，所述控制器还经常闭继电器与所述报警单元相连接。 2.如权利要求1所述的半导体设备机台气缸的升降侦测系统，其特征在于，所述位置调节机构包括固定板、滑动板、调节螺柱、螺套、弹簧、螺纹杆、上调节螺母和下锁紧螺母； 所述固定板固定在所述缸体的顶部端面上，所述滑动板滑动地设置在所述缸体的顶部端面上，且位于所述固定板的内侧，所述调节螺柱的一端固定在所述滑动板的侧壁上，所述调节螺柱的另一端穿过固定板后与所述螺套螺纹连接，所述弹簧套设在所述调节螺柱上，且位于所述固定板和滑动板之间； 所述固定板的上部前后方向设有贯穿的调节孔，所述调节孔的顶部具有条形开口； 所述螺纹杆竖直地设置在所述安装支架的底部，所述上调节螺母和下锁紧螺母分别螺纹套设在所述螺纹杆上，且所述上调节螺母和下锁紧螺母分别位于所述条形开口的上下两侧。 3.如权利要求1所述的半导体设备机台气缸的升降侦测系统，其特征在于，所述报警单元包括报警灯和蜂鸣器。 4.如权利要求1所述的半导体设备机台气缸的升降侦测系统，其特征在于，所述半导体设备机台的底部设置有行走轮。