LED光源曝光系统及曝光机
本实用新型LED光源曝光系统及曝光机包括发出紫外光的UV‑LED光源组件、接收并透射UV‑LED光源组件发出的所述紫外光的复眼组件、接收并反射经过所述复眼组件匀化的紫外光的平面反光装置及接收并反射经过所述平面反光装置匀化准直的紫外光的曲面镜，所述曲面镜将接收的紫外光反射至底片表面以进行图形转移；本实用新型通过在平面反光镜上设置挡片对照射在底片上的光斑进行改变，满足光斑的均匀度，保证底片曝光的一致性。本实用新型同时可以满足不同尺寸的曲面镜，不同的曝光面积，只需要更平面反光装置与复眼组件、曲面镜之间的距离即可实现，也可以通过调整平面反光镜的角度实现，具有高度的灵活性。
实用新型
CN202020293645.X
2020-03-11
CN211786584U
2020-10-27
G03F7/20(2006.01)
东莞市中誉光电科技有限公司
周学思
523556 广东省东莞市常平镇白石岗向北村208号之一
广东;44
1.一种LED光源曝光系统，用于图形转移，包括发出紫外光的UV-LED光源组件、接收并透射UV-LED光源组件发出的所述紫外光的复眼组件及接收并反射经过所述复眼组件匀化的紫外光的曲面镜，所述曲面镜将接收的紫外光反射至底片表面以进行图形转移；其特征在于：所述复眼组件与曲面镜之间设有平面反光装置，所述平面反光装置对复眼组件匀化的紫外光进行反射至曲面镜，所述平面反光装置包括角度可调的平面反光镜和多个可移动设在平面反光镜上表面的挡片。 2.根据权利要求1所述的LED光源曝光系统，其特征在于：所述平面反光装置还包括控制挡片移动的机械手和控制机械手的控制器。 3.根据权利要求2所述的LED光源曝光系统，其特征在于：所述底片上方设置有光学图像传感器，所述光学图像传感器连接有中央处理器，所述光学图像传感器对经过曲面镜反射之后照射到底片上的光斑图像转换成信号传送至中央处理器，所述中央处理器对比分析之后输出控制所述控制器，所述控制器控制所述机械手移动挡片。 4.根据权利要求3所述的LED光源曝光系统，其特征在于：所述平面反光镜的四个方向上分别设置一个挡片，所述挡片可移动地贴设在所述平面反光镜上表面，所述机械手的数量至少一个。 5.根据权利要求4所述的LED光源曝光系统，其特征在于：所述机械手的数量为四个，所述每个机械手控制一个挡片的移动，所述四个挡片以平面反光镜的中心点为原点进行移动。 6.根据权利要求1-5任一项所述的LED光源曝光系统，其特征在于：还包括显示模块，所述显示模块用于显示中央处理器输出的光斑图像。 7.根据权利要求1-5任一项所述的LED光源曝光系统，其特征在于：所述挡片的材质为石英。 8.根据权利要求1所述的LED光源曝光系统，其特征在于：所述复眼组件包括至少两个复眼镜片，所述两个复眼镜片之间的距离可调。 9.根据权利要求8所述的LED光源曝光系统，其特征在于：所述复眼组件包括入射镜片、出射镜片和若干距离调节结构，所述入射镜片和出射镜片平行设置，所述若干距离调节结构使得入射镜片和出射镜片平行移动，所述距离调节结构由连接杆和调节杆组成，所述连接杆内设置有滑槽，所述调节杆在所述滑槽内可移动，所述距离调节结构的两端分别设置在所述入射镜片和出射镜片的侧面。 10.一种曝光机，包括LED光源曝光系统，其特征在于：所述LED光源曝光系统包括发出紫外光的UV-LED光源组件、接收并透射UV-LED光源组件发出的所述紫外光的复眼组件及接收并反射经过所述复眼组件匀化的紫外光的曲面镜，所述曲面镜将接收的紫外光反射至底片表面以进行图形转移；所述复眼组件与曲面镜之间设有平面反光装置，所述平面反光装置对复眼组件匀化的紫外光进行反射至曲面镜，所述平面反光装置包括角度可调的平面反光镜和多个可移动设在平面反光镜上表面的挡片。