一种产生特殊聚焦光斑的位相板

摘要：

本实用新型公开了一种产生特殊聚焦光斑的位相板。该位相板呈圆形，通过其表面的结构对入射光进行相位调制，产生特殊聚焦光斑。其特征在于该位相板具有圆形的相位分布，能够使透过的平行光束在聚焦平面产生特殊聚焦光斑，同时，改变入射光的波长还可以得到不同大小的聚焦光斑。在光刻领域、尤其是无掩膜光刻领域有着广阔的应用前景。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201921958560.2

申请日期：2019-11-13

公开/公告号：CN211628003U

公开/公告日：2020-10-02

主分类号：G03F7/20(2006.01)

申请/专利权人:中国计量大学

发明/设计人:马超然;李旸晖;郭璐璐;陈伟

主申请人地址:310018 浙江省杭州市下沙高教园区学源街258号

国别省市代码:浙江;33

权利要求：

1.一种产生特殊聚焦光斑的位相板，其特征在于：所述一种产生特殊聚焦光斑的位相板工作在特定的光学系统下，该光学系统包含：相干光源(1)；准直透镜(2)；一种产生特殊聚焦光斑的位相板(3)；凸透镜(4)；感光器件(5)；所述一种产生特殊聚焦光斑的位相板表面具有特殊的位相编码结构，能够使穿过该位相板的平行光经过凸透镜汇聚，在工作平面形成特殊聚焦光斑。 2.根据权利要求1所述的一种产生特殊聚焦光斑的位相板，其特征在于：平行光为相干光，且该平行光必须充满一种产生特殊聚焦光斑的位相板的整个入瞳。 3.根据权利要求1所述的一种产生特殊聚焦光斑的位相板，其特征在于：该聚焦光斑为正方形，且该正方形边长为入射的平行光波长的78倍，且聚焦光斑的像素为入射的平行光波长的0.1倍。