一种1×5微流控光开关

摘要：

本实用新型揭示了一种1×5微流控光开关，该光开关由上而下依次包括有第一层结构、第二层结构、第三层结构和第四层结构，第一层结构为盖板，盖板上包括两个间隙设置的接线柱孔；第二层结构为压电陶瓷驱动层，压电陶瓷驱动层包括U型流道、两个多层堆叠式压电陶瓷和两个接线柱，其中U型流道中填充有液体；第三层结构为矩形介质层，矩形介质层包括六个条形波导和W型流道，其中W型流道中填充有液体和一段空气柱，且液体的折射率与矩形介质层的折射率相同；所述第四层结构为平板基底。本实用新型利用压电陶瓷驱动匹配液来调节W型流道中空气柱的位置，进而实现1×5光开关的输出，其具有良好的操控性，小的机械磨损，具有实际的应用价值。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201821887675.2

申请日期：2018-11-15

公开/公告号：CN209055691U

公开/公告日：2019-07-02

主分类号：G02B6/35(2006.01)

申请/专利权人:南京邮电大学

发明/设计人:万静;苗江云;张思沫;段依欣;张天润

主申请人地址:210003 江苏省南京市鼓楼区新模范马路66号

专利代理机构:南京苏科专利代理有限责任公司

代理人:姚姣阳

权利要求：

1.一种1×5微流控光开关，其特征在于：由上而下依次包括有第一层结构、第二层结构、第三层结构和第四层结构， 所述第一层结构为盖板，所述盖板上包括两个间隙设置的接线柱孔； 所述第二层结构为压电陶瓷驱动层，所述压电陶瓷驱动层包括U型流道、两个多层堆叠式压电陶瓷和两个接线柱，其中U型流道中填充有液体； 所述第三层结构为矩形介质层，所述矩形介质层包括第一条形波导、第二条形波导、第三条形波导、第四条形波导、第五条形波导、第六条形波导和W型流道，其中W型流道中填充有液体和一段空气柱，且液体的折射率与矩形介质层的折射率相同； 所述第四层结构为平板基底。 2.根据权利要求1所述的一种1×5微流控光开关，其特征在于：所述第一层结构、第二层结构、第三层结构和第四层结构相互之间通过等离子辅助键合方式连接。 3.根据权利要求1所述的一种1×5微流控光开关，其特征在于：所述压电陶瓷驱动层中的U型流道与矩形介质层中的W型流道相通。 4.根据权利要求1所述的一种1×5微流控光开关，其特征在于：所述W型流道位于矩形介质层的中间，W型流道中的每条臂均与矩形透明介质层的边长呈45度角，便于光束反射或透射到相应的输出端口。 5.根据权利要求1所述的一种1×5微流控光开关，其特征在于：所述U型流道中填充液体，W型流道中填充液体和一段空气柱。 6.根据权利要求5所述的一种1×5微流控光开关，其特征在于：所述U型流道中填充的液体为与所述矩形介质层折射率相同的匹配液。 7.根据权利要求1所述的一种1×5微流控光开关，其特征在于：所述U型流道的中部设置了两个相同的长方体空间，在两个长方体空间中设置两个多层堆叠式压电陶瓷，且每个所述压电陶瓷均与U型流道中间相粘。 8.根据权利要求1所述的一种1×5微流控光开关，其特征在于：两个接线柱均通过电线与多层堆叠式压电陶瓷相连接，通过控制加载在接线柱上的电压驱动液体流动来控制空气柱在W型流道中的位置。