一种卧式还原气氛真空退火炉
本实用新型提供一种卧式还原气氛真空退火炉,包括机架、炉体、炉门、炉胆、绝热保温炉衬、加热元件、真空系统、气氛系统、控制系统、安全装置和散热装置,真空系统和气氛系统安装在机架下部,控制系统安装机架后部;炉胆采用高低温区设计,高温区采用U型硅钼棒加热,硅钼棒两侧布置,低温区采用FEC陶瓷纤维加热器加热,圆周式布置,高低温区设计有隔板结构;本发明中炉胆采用高、低温区设计,可以有效实现温度梯度;轻质纤维材料热导率较低、比重小,能有效降低设备正常使用过程中的电耗;真空系统和气氛系统采用真空机组和质量流量计控制,使得真空度较高、气体流量控制精度较好,达到高、精、尖CVD工艺实验的指标要求。
实用新型
CN201820010707.4
2018-01-04
CN207881463U
2018-09-18
F27B5/05(2006.01)I
湖南新天力科技有限公司
匡万兵;谭俊峰;聂勇
410004 湖南省长沙市雨花区韶山中路448号融科三万英尺公寓8号栋住宅1820
湖南;43
1.一种卧式还原气氛真空退火炉,其特征在于,包括机架(1)、炉体(2)、炉门(3)、炉胆(4)、绝热保温炉衬(5)、加热元件(6)、真空系统(7)、气氛系统(8)、控制系统(9)、安全装置(10)和散热装置(11),其中:炉体(2)安装在机架(1)上,炉门(3)与炉体(2)连接,炉胆(4)置于炉体(2)内部,绝热保温炉衬(5)安装在炉胆(4)内部,加热元件(6)在绝热保温炉衬(5)的两侧面布置安装,真空系统(7)和气氛系统(8)安装在机架(1)下部,控制系统(9)安装机架(1)后部,安全装置(10)和散热装置(11)安装在炉体(2)上部。