一种金刚线冷却切割液及其制备方法

摘要：

本发明提出了一种金刚线冷却切割液及其制备方法，冷却切割液包括聚醚、表面活性剂、渗透剂、螯合剂、防锈剂、pH值稳定剂、消泡剂和水，通过将各原料混合均匀得到本发明的金刚线冷却切割液；本发明的切割液能够有效沉降切割过程中产生的硅粉，避免硅粉因高温粘附在硅片表面，通过本发明中各组分的相互结合，提高金刚线的切割速率，提高硅片的良率，硅片表面残留物大大减少，降低了金刚线的磨损率。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201811547817.5

申请日期：2018-12-18

公开/公告号：CN109439425A

公开/公告日：2019-03-08

主分类号：C10M173/02(2006.01)I

申请/专利权人:武汉风帆电化科技股份有限公司

发明/设计人:张红利;王池;张帅;李杨;袁震芹;李雪芬;虢世恩

主申请人地址:430040 湖北省武汉市东西湖区新城十路(7)

专利代理机构:武汉红观专利代理事务所(普通合伙) 42247

代理人:陈凯

国别省市代码:湖北;42

权利要求：

1.一种金刚线冷却切割液，其特征在于，按质量百分比为100％计，包括：<img file="FDA0001909391220000011.TIF" wi="664" he="1000"/>余量的水。