一种三波长反射式数字全息显微镜

摘要：

本发明公开了一种三波长反射式数字全息显微镜，中第一光源的线偏振方向平行于光路平面，第二光源和第三光源的线偏振方向垂直于光路平面；第一光源发出的光经第一偏振分光棱镜和第二偏振分光棱镜透射后被分光棱镜分为参考光和物光两束光；透射光经透镜、物镜后从样品表面回射被相机获取作为物光束；反射光作为参考光束射入相机，参考光束与物光束的干涉条纹将被相机获取；第二光源作为物光束，参考光束与物光束的干涉条纹将被相机获取。第三光源的光经第二偏振分光棱镜反射后与第二光源共用后续光路。本发明的有益效果是比现有多波长数字全息显微镜更加紧凑和便于集成，可用于样品的三维实时形貌测量。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201811223768.X

申请日期：2018-10-19

公开/公告号：CN109062018A

公开/公告日：2018-12-21

主分类号：G03H1/00(2006.01)I

申请/专利权人:许之敏

发明/设计人:张旭辉;许之敏

主申请人地址:518000 广东省深圳市南山区科技南十二路28号康佳研发大厦12楼A2室

专利代理机构:北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616

代理人:尚欣

国别省市代码:广东;44

权利要求：

1.一种三波长反射式数字全息显微镜，其特征在于：包括第一光源、第二光源和第三光源，第一光源、第二光源和第三光源为三束波长有差别的线偏振光源，其中第一光源的线偏振方向平行于光路平面，第二光源和第三光源的线偏振方向垂直于光路平面；第一光源发出的光经第一偏振分光棱镜和第二偏振分光棱镜透射后被分光棱镜分为参考光和物光两束光；透射光经透镜和物镜后平行入射到样品表面；携带表面信息的回射光透过物镜和透镜后经分光棱镜反射后被相机获取作为物光束；反射光透过第三偏振分光棱镜后被第一延时系统进行180度反射，经第一二分之一波片偏转偏振方向后经第一反射镜和第二反射镜反射后透过分光棱镜作为参考光束射入相机，参考光束与物光束的干涉条纹将被相机获取；第二光源发出的光经第一偏振分光棱镜折射后透过第二偏振分光棱镜被分光棱镜分为参考光和物光两束光；透射光经透镜和物镜后平行入射到样品表面；携带表面信息的回射光透过物镜和透镜后经分光棱镜反射后被相机获取作为物光束；反射光经第三偏振分光棱镜折射后经第二二分之一波片偏转偏振方向，被第二延时系统进行180度反射，经第三反射镜反射后透过分光棱镜作为参考光束射入相机，参考光束与物光束的干涉条纹将被相机获取；第三光源的光经第二偏振分光棱镜反射后与第二光源共用后续光路。