一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置
本发明提供一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置，涉及燃烧装置技术领域。该处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置，包括机体，所述机体的上端外表面靠近左侧为止固定安装有燃烧室，所述燃烧室的上端外表面固定安装有废气输料管，所述废气输料管的上端外表面固定安装有废气输出端，所述废气输料管的左侧固定安装有旋风电机，所述燃烧室的内壁顶端位置固定安装有轴承装置，所述轴承装置的内部套设有空心管。该处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置，使得反应更加全面，更加充分，有利于保护环境，使得水反应室内的废气与喷洒的水充分反应且与废气反应后的水通过出水口进入水箱，重复使用，节约水资源。
发明专利
CN201810747068.4
2018-07-09
CN108800172A
2018-11-13
F23G7/06(2006.01)I
安徽京仪自动化装备技术有限公司
宁腾飞;司马超;杨春水;张坤;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩
241000 安徽省芜湖市江北产业集中区管委会B楼403-J室
芜湖思诚知识产权代理有限公司 34138
郑直
安徽;34
1.一种处理半导体制程废气的旋风式合氧燃烧装置，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的上端外表面靠近左侧为止固定安装有燃烧室(2)，所述燃烧室(3)的上端外表面固定安装有废气输料管(3)，所述废气输料管(2)的上端外表面固定安装有废气输出端(4)，所述废气输料管(3)的左侧固定安装有旋风电机(5)，所述燃烧室(2)的内壁顶端位置固定安装有轴承装置(6)，所述轴承装置(6)的内部套设有空心管(62)，所述轴承装置(6)与空心管(62)之间活动安装有滚轮(61)，所述燃烧室(2)的内部活动安装有废气室(7)，所述废气室(7)的外表面开设有漏气孔(8)，所述燃烧室(2)与废气室(7)之间固定安装有燃烧腔槽(9)，所述机体(1)的内部固定安装有一号电机(10)，所述一号电机(10)的上端外表面固定安装有一号旋转杆(11)，所述燃烧室(2)的左侧外表面活动安装有打火装置(12)，所述打火装置(12)包括打火室(121)，所述打火室(121)内部固定安装有打火石(122)，所述打火石(122)的一侧活动安装有摩擦条(123)，所述打火室(121)的左侧活动安装有横杆(124)，所述打火室(121)的外表面开设有进气孔(125)，所述燃烧室(2)的右侧设置有燃气输出端(13)，所述所述燃气输出端(13)与燃烧室(2)之间固定安装有燃气输料管(14)，所述燃烧室(2)的右侧外表面靠近上方位置固定安装有风机(15)，所述风机(15)与燃烧室(2)之间固定安装有进风管(16)，所述机体(1)的上端外表面靠近右侧位置固定安装有水反应室(17)，所述燃烧室(2)与水反应室(17)之间固定安装有出风管(18)，所述出风管(18)与水反应室(17)之间固定安装有出气板(19)，所述水反应室(17)的上方固定安装有二号电机(20)，所述二号电机(20)的下端外表面固定安装有二号旋转杆(21)，所述水反应室(17)的内壁顶端固定安装有轴承(22)，且水反应室(17)的内部活动安装有螺旋水管(23)，所述螺旋水管(23)的外表面开设有出水孔(24)，所述机体(1)的内部靠近右侧位置固定安装有水泵(25)，且机体(1)的右侧外表面固定安装有水箱(26)，所述水泵(25)与水箱(26)之间固定安装有进水管(27)，且水泵(25)与水反应室(17)之间固定安装有出水管(28)，所述水反应室(17)的右侧靠近底端位置连通有出水口(29)。