一种卧式还原气氛真空退火炉

摘要：

本发明提供一种卧式还原气氛真空退火炉，包括机架、炉体、炉门、炉胆、绝热保温炉衬、加热元件、真空系统、气氛系统、控制系统、安全装置和散热装置，真空系统和气氛系统安装在机架下部，控制系统安装机架后部；炉胆采用高低温区设计，高温区采用U型硅钼棒加热，硅钼棒两侧布置，低温区采用FEC陶瓷纤维加热器加热，圆周式布置，高低温区设计有隔板结构；本发明中炉胆采用高、低温区设计，可以有效实现温度梯度；轻质纤维材料热导率较低、比重小，能有效降低设备正常使用过程中的电耗；真空系统和气氛系统采用真空机组和质量流量计控制，使得真空度较高、气体流量控制精度较好，达到高、精、尖CVD工艺实验的指标要求。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201810007000.2

申请日期：2018-01-04

公开/公告号：CN108204737A

公开/公告日：2018-06-26

主分类号：F27B5/05(2006.01)I

申请/专利权人:湖南新天力科技有限公司

发明/设计人:匡万兵;谭俊峰;聂勇

主申请人地址:410004 湖南省长沙市雨花区韶山中路448号融科三万英尺公寓8号栋住宅1820

国别省市代码:湖南;43

权利要求：

1.一种卧式还原气氛真空退火炉，其特征在于，包括机架(1)、炉体(2)、炉门(3)、炉胆(4)、绝热保温炉衬(5)、加热元件(6)、真空系统(7)、气氛系统(8)、控制系统(9)、安全装置(10)和散热装置(11)，其中：炉体(2)安装在机架(1)上，炉门(3)与炉体(2)连接，炉胆(4)置于炉体(2)内部，绝热保温炉衬(5)安装在炉胆(4)内部，加热元件(6)在绝热保温炉衬(5)的两侧面布置安装，真空系统(7)和气氛系统(8)安装在机架(1)下部，控制系统(9)安装机架(1)后部，安全装置(10)和散热装置(11)安装在炉体(2)上部。