一种扁形真空炉九路独立加热系统

摘要：

本实用新型公开了一种扁形真空炉九路独立加热系统，包括上部加热区、中部加热区和下部加热区，前上加热区固定在墙面的上部角落，中上加热区设置在前上加热区的一侧，中上加热区另一侧设置有后上加热区，中部加热区固定在墙面的中心且两侧分别设置有前中加热区和后中加热区，中下加热区固定在墙面的底部中心，中下加热区两侧分别固定有后下加热区和前下加热区，通过创新设置的在单独一侧加热分为前、中、后及上、中、下共9路加热体系，通过独立控温的功能，达到了精准加热的效果，解决了垂直方向温差较大的问题；通过创新设置的前后两侧墙面上对应的加热器共用一个热电偶，达到了加热同步的效果，解决了升温速度不一样的问题。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201721671555.4

申请日期：2017-12-05

公开/公告号：CN207688659U

公开/公告日：2018-08-03

主分类号：F27D11/00(2006.01)I

申请/专利权人:上海三井真空设备有限公司

发明/设计人:叶祥;刘二强

主申请人地址:201708 上海市青浦区华新镇华强街675号

专利代理机构:上海三和万国知识产权代理事务所(普通合伙) 31230

代理人:陈伟勇

国别省市代码:上海;31

权利要求：

1.一种扁形真空炉九路独立加热系统，其特征在于，包括上部加热区（1）、中部加热区（2）和下部加热区（3），上部加热区（1）包括后上加热区（6）、中上加热区（5）和前上加热区（4），前上加热区（4）固定在墙面的上部角落，中上加热区（5）设置在前上加热区（4）的一侧，中上加热区（5）另一侧设置有后上加热区（6），中部加热区（2）固定在墙面的中心且两侧分别设置有前中加热区（8）和后中加热区（7），下部加热区（3）包括后下加热区（9）、中下加热区（10）和前下加热区（11），中下加热区（8）固定在墙面的底部中心，中下加热区（8）两侧分别固定有后下加热区（9）和前下加热区（11）。