一种单晶硅片镀膜用微波真空炉

摘要：

一种单晶硅片镀膜用微波真空炉，炉体从内到外分别为内胆、中间保温层和金属外壳，所述内胆内部铺设有输送轨道，所述输送轨道两侧设有密封门，所述中间保温层处安装有若干微波加热源，所述微波加热源外对应连接有微波加热器，所述金属外壳侧面还开有若干安装孔，所述安装孔分别连接所述真空泵组、控制系统和水冷却系统。微波加热的方式，无需热传导，物料在微波场中吸收微波产生热量，具有升温迅速、温度均匀、生产效率高等特点，水冷却系统与红外测温装置在控制系统的协调下，稳定控制生产过程中的温度，整体结构安全可靠、维护简便、易于操作。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201721123403.0

申请日期：2017-09-01

公开/公告号：CN207147228U

公开/公告日：2018-03-27

主分类号：F27B17/00(2006.01)I

申请/专利权人:泰州市辉烽常盛机械设备有限公司

发明/设计人:陈昌传

主申请人地址:225300 江苏省泰州市海陵区太阳商业广场426室

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种单晶硅片镀膜用微波真空炉，其特征在于：包括炉体(1)、真空泵组(2)、控制系统(3)以及水冷却系统(4)，所述炉体(1)从内到外分别为内胆(5)、中间保温层(6)和金属外壳(7)，所述内胆(5)内部铺设有输送轨道(8)，所述输送轨道(8)两侧设有密封门(9)，所述密封门(9)分别固定在所述金属外壳(7)两侧，所述中间保温层(6)处安装有若干微波加热源(10)，所述微波加热源(10)外对应连接有微波加热器(11)，所述微波加热器(11)固定安装在所述金属外壳(7)的外壁上，所述金属外壳(7)侧面还开有若干安装孔，所述安装孔分别连接所述真空泵组(2)、控制系统(3)和水冷却系统(4)。