一种曝光机光强调节装置

摘要：

本实用新型实施例的曝光机光强调节装置解决了输入光源利用率低的技术问题。曝光机光强调节装置包括分光装置，分光装置的输出端口与积光器间形成照射光路，输出端口与积光器间设置半透半反射镜和第二分光装置，半透半反射镜设置在照射光路上，第二分光装置的输入端口朝向半透半反射镜的反射面，第二分光装置的输出端口与分光装置间建立补偿光路。本实用新型实施例将额外的光通量调配补偿到分光装置其他输出端口的照射光路中，使得额外光通量可以用于不同照射光路的光通量补偿，提高光源利用率。尤其对于曝光机在VFS模式曝光时，可以在不增加点光源功率的状态下获得更高照度和照度均匀度。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201720595338.5

申请日期：2017-05-25

公开/公告号：CN206741198U

公开/公告日：2017-12-12

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:昆山国显光电有限公司

发明/设计人:胡超;薛栋;宁鹏飞

主申请人地址:215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢

专利代理机构:北京布瑞知识产权代理有限公司 11505

代理人:孟潭

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种曝光机光强调节装置，包括分光装置，所述分光装置的输出端口与积光器间形成照射光路，其特征在于所述输出端口与所述积光器间设置半透半反射镜和第二分光装置，所述半透半反射镜设置在所述照射光路上，所述第二分光装置的输入端口朝向所述半透半反射镜的反射面，所述第二分光装置的输出端口与所述分光装置间建立补偿光路。